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聚焦离子束写入技术对MEMS失效构件的修复 被引量：1

Repairment of MEMS Failure Parts Using FIB Writing Technology
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摘要 在MEMS领域中,可活动的构件,如悬臂梁、桥和链等,由于不可避免的工艺因素,会影响其内部残余应力、泊松比等机械参数,在构件释放时,容易产生应变,从而使构件变形.针对悬臂梁式MEMS谐振器件所对应谐振频率的特点,结合聚焦离子束写入技术,对失效的构件进行修补,在一定的写入条件下,能够使构件恢复预计的频率,正常进行工作.对修复后的构件的可靠性寿命进行了测试,发现聚焦离子束写入技术对构件的可靠性寿命并没有明显的影响.
作者 姜岩峰 张晓波
机构地区 北方工业大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期44-46,共3页 China Mechanical Engineering
基金 北京市优秀人才培养专项经费资助项目(20042D0500202)
关键词 聚焦离子束 失效 MEMS构件 可靠性
分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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参考文献8

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同被引文献8

引证文献1

二级引证文献1

中国机械工程
2005年 第z1期

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