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基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究 被引量：1

Valveless Micropump with Planar Channel Based on Silicon Anisotropic Etching
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摘要 依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.
作者 张国威 刘晓为 陈伟平 倪鹤南 王喜莲
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期119-121,共3页 China Mechanical Engineering
基金 国家自然科学基金资助项目(60276038)
关键词 扩散口 喷嘴 泵压 无阀微泵
分类号 TH137.51 [机械工程—机械制造及自动化]
  • 相关文献

参考文献8

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共引文献1

同被引文献6

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  • 6OLSSON A,STEEME G,STEMME E.Diffuser element Design Investigation for Valve-less Pumps[J].Sensors and Actuators.1996,A57:137-143.

引证文献1

二级引证文献2

中国机械工程
2005年 第z1期

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