期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

超浅硅N^+P结雪崩发射式冷阴极研究

原文传递

导出

摘要本文介绍了硅超浅N^+P、结雪崩电子发射式真空微冷阴极的结构、工作原理以及用低能As离子注子形成结深浅于30 um的超浅N^+P结技术和简便的结深监测方法.并给出了这种冷阴极电子发射性能的实验结果.

作者薜臻李琼汤世豪袁美英徐静芳林成鲁张锻吴俊富

机构地区华东师范大学电子科学技术系中国科学院上海冶金研究所上海真空电子器件股份有限公司

出处《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1992年第S1期149-152,共4页 Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)

基金国家自然科学基金资助课题

关键词超浅硅冷阴极雪崩电子发射

分类号 N55 [自然科学总论]

引文网络
相关文献

1刘卫东,罗恩泽,魏春蘅.硅尖场发射冷阴极阵列的研制及性能研究[J].云南大学学报（自然科学版）,1992,14(S1):160-161. 被引量：1
2范树勋,刘光诒,康健莉,冉启欢.TFFEC冷阴极专用全固态数字脉冲功率源[J].云南大学学报（自然科学版）,1992,14(S1):145-148.
3赵玉清,王晓艳,时立峰,李东梅.基于模糊神经网络的冷阴极潘宁离子源束流控制系统[J].真空,2004,41(6):28-32.
4彭自安,柯春和,李庠.真空微电子学与微波毫米波器件[J].云南大学学报（自然科学版）,1992,14(S1):138-140.
5李国连,刘万军.基于嵌入式技术的GPS车辆导航系统[J].东北大学学报（自然科学版）,2004,25(z1):162-164. 被引量：2
6陈保,姜东华,罗正刚,张怀志.HACCP体系在普洱茶加工中的应用[J].云南大学学报（自然科学版）,2011,33(S2):448-452. 被引量：1
7CharlesQ．Choi.地震改变地心引力[J].科学（中文版）,2005(3):16-16.
8曾庆城,王水风,罗房芳.B^+注入沾污与Fe^+·B^-离子对的增强扩散效应[J].厦门大学学报（自然科学版）,1993,32(S2):79-81.
9王小辉,刘芸芸.解读空气质量指数与空气污染指数[J].中国科技术语,2011,13(6):49-51. 被引量：16
10邵红全,杜峰,马骏,孙叶钢.HLA联邦数据记录分析成员的研究与实现[J].军事运筹与系统工程,2010,24(3):55-58.

云南大学学报（自然科学版）

1992年第S1期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部