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用线阵CCD传感器测量工件外轮廓尺寸
被引量:
2
Measurement of Outline Size by Line-CCD Senson
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摘要
本文阐述了用线阵CCD传感器测量工件外轮廓尺寸的原理及方法。
作者
段志姣
机构地区
华中光电技术研究所
出处
《计量与测试技术》
2004年第5期26-27,共2页
Metrology & Measurement Technique
关键词
线阵CCD传感器
工件
外轮廓
光电探测器
光电测试系统
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
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