飞秒激光在微制造中的应用被引量：1

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摘要本文介绍飞秒激光微加工的特点，并着重指出了与长脉冲激光的区别。飞秒激光可产生超高光强、热影响区小且阈值较小，可精密加工所有材料，并且，加工精度极高，可进行亚微米尺寸的精密加工。通过分析飞秒激光微加工的特性，综述飞秒激光微制造的研究现状。

作者王清月

机构地区天津大学精密仪器与光电子工程学院教授

出处《科技中国》 2004年第6期64-66,共3页 China Scitechnology Think Tank

关键词飞秒激光微制造激光微加工光子晶体

同被引文献6

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科技中国

2004年第6期

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