半导体硅材料技术与市场被引量：1

在线阅读下载PDF

导出

摘要本文从半导体产业链角度阐述了硅材料在整个电子信息社会中的作用和重要地位。从硅圆片历年的销售面积、销售额、市场份额等方面阐述了硅材料市场的现状和展望，对300mm和SOI硅圆片的发展趋势作了预测，还对国内硅材料的市场以及主要的硅材料企业的现状作了阐述。

作者王家楫王铮

机构地区复旦大学材料科学研究所上海

出处《集成电路应用》 2002年第9期9-15,共7页 Application of IC

关键词半导体产业硅材料 SOI硅圆片 300mm圆片市场分析

同被引文献5

1樊婷,姚淑娟,周成冈,韩波,吴金平.小富勒烯C_(28)在Si(001)-c(2×1)表面吸附的密度泛函理论研究[J].武汉大学学报（理学版）,2007,53(6):655-660.
2卜新平.国内外多晶硅行业现状与发展趋势[J].化学工业,2008,26(7):32-41. 被引量：15
3宋学萍,王佩红,孙兆奇.射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究[J].安徽大学学报（自然科学版）,2009,33(3):65-68. 被引量：1
4戴军之,左敦稳,赵礼刚,王珉.固结金刚石线锯锯切硅片的正交试验研究[J].机械制造与自动化,2010,40(5):13-15.
5皮孝东,杨德仁.培养半导体材料创新人才:基于研究的教学[J].中国科教创新导刊,2012(19):35-36. 被引量：2
6彭明发,何小蝶,吴海华.硅的反应离子刻蚀实验研究[J].实验科学与技术,2015,13(1):25-26.
7段亚俊,邱明波,陈浩然,刘志东,赵剑峰,沈理达.丙三醇水溶液电火花加工硅晶体特性研究[J].电加工与模具,2017(5):6-9. 被引量：1
8叶开凯,邢鹏飞,王敬强,都兴红.利用碳化稻壳制备高纯硅过程球团制备条件的探究[J].铁合金,2017,48(11):26-29. 被引量：2
9闫志瑞,库黎明,白杜娟,陈海滨,王永涛.半导体硅片制备技术及产业现状[J].金刚石与磨料磨具工程,2020,40(4):5-11. 被引量：12
10李朋飞,徐岩.半导体硅材料的杂质及其纯度计算[J].科技创新与应用,2022,12(34):71-74.

集成电路应用

2002年第9期

内容加载中请稍等...