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基于半导体激光光纤组件的激光准直仪 被引量:12

A Simple Laser Collimator Based on Single-mode Fiber-coupled Laser Module
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摘要 介绍一种基于半导体激光光纤组件的激光准直仪 ,讨论了使用角锥棱镜作为活动靶镜的测量原理 ,给出了准直仪的软硬件设计方案。通过各种实验表明 ,本准直仪可直接应用于工业测量。 A simple laser collimation system based on a single|mode fiber-coupled laser module was put forward, principle of using a corner retroreflector as the moving target in the laser collimator was discussed. The hardware and software designs of the system were also discussed. Comparison results of straightness measurement among our laser collimator and a dual frequency laser interferometer and other experimental results were given, and these experimental results show that the laser collimator can be used for industrial applications.
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期28-31,共4页 Chinese Journal of Scientific Instrument
关键词 光纤 准直仪 激光准直 半导体激光 角锥棱镜 软硬件设计 直接 实验 活动 Laser collimator Single-mode fiber-coupled laser module Straightness measurement Quadrant photo-diode detector
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献10

  • 1王家驿 李长健 等.半导体器件物理[M].北京:科学出版社,1983..
  • 2郝群.激光准直和CCD测量技术在大型尺寸形位误差测量中的应用研究.博士学位论文[M].北京:清华大学精仪系,1998..
  • 3冯其波,博士学位论文,1993年
  • 4曾理江,博士学位论文,1989年
  • 5Tilo Pfeifer,国外计量,1983年,24页
  • 6严瑛白.应用物理光学[M].北京:机械工业出版社,1994..
  • 7郝群,博士学位论文,1998年
  • 8严瑛白,应用物理光学,1994年
  • 9王庆有,CCD 应用技术,1993年
  • 10王家驿,半导体器件物理,1983年

共引文献26

同被引文献86

引证文献12

二级引证文献69

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