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加强气体分析测试技术研究为微电子工业振兴服务 被引量:3

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摘要 阐述了分析测试工作在国民经济建设中的重要作用,以及气体分析测试、系统污染监测有关基础研究工作对微电子工业振兴的必要性.介绍了SEMI国际际准比组织的有关工作,并提出了国内开展气体分析测试技术基础研究工作的具体建议.
作者 刘光会
出处 《低温与特气》 CAS 1994年第1期1-4,共4页 Low Temperature and Specialty Gases
  • 相关文献

参考文献1

  • 1朱良漪.挑战和对策——关于加速发展我国分析仪器的几个问题[J]分析仪器,1986(01).

同被引文献22

引证文献3

二级引证文献23

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