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激光法合成SiC粉末的机理研究

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摘要激光法合成ＳｉＣ粉末的机理研究韩理，于威，傅广生，张连水（河北大学物理系，保定０７１００２）采用强脉冲激光诱发等离子体化学反应制备固态材料是近几年发展起来的激光应用技术。本工作利用脉冲ＴＥＡＣＯＺ激光诱发ＳｉＨ４＋ＣＨ４等离子体气相反应合成了纳米级Ｓ...

作者韩理于威傅广生张连水

机构地区河北大学物理系

出处《量子电子学》 CSCD 1994年第2期39-40,共2页

关键词激光法合成 SiC粉末机理等离子体

分类号 O644.18 [理学—物理化学]

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量子电子学

1994年第2期

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