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激光烧蚀过程中的发射光谱研究

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摘要激光烧蚀过程中的发射光谱研究吴凌晖，吴嘉达，伍长征，李富铭（上海三束材料改性国家重点联合实验室复旦大学分部复旦大学光学和激光物理研究室，２００４３３）脉冲激光烧蚀沉淀制备薄膜技术已引起越来越多的关注。我们用时间和空间分辨的发射光谱方法测量了激光烧蚀钛...

作者吴凌晖吴嘉达伍长征李富铭

机构地区上海三束材料改性国家重点联合实验室复旦大学分部复旦大学光学和激光物理研究室

出处《量子电子学》 CSCD 1994年第2期36-37,共2页

关键词激光烧蚀过程发射光谱钛靶

分类号 TN241 [电子电信—物理电子学]

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量子电子学

1994年第2期

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