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连续测定气体中超微量水份的水晶振荡式水份计

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摘要日本岛津制作所已完成两种首次生产的水晶振荡式水份计(低浓度用MAH-2型，高浓度MAH-50型)，且巳开始销售。该水份计能连续测定半导体生产线等使用的高纯气体中的超微量水份。

作者张应焞王玉杰

机构地区化工部光明化工研究所化工部西南化工研究院

出处《低温与特气》 CAS 1987年第3期F003-F003,共1页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词微量水份连续测定振荡式水晶日本岛津制作所半导体生产线 H-2型高纯气体低浓度 50型 MA

分类号 TQ223.122 [化学工程—有机化工] X832.02 [环境科学与工程—环境工程]

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低温与特气

1987年第3期

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