摘要
本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理，制作方法和测试电路。
In this paper,the operating principle of a planar vibrator micromechanical silicon accelerometer, the way of preparation and the designing of the detecting circuit are introduced.
出处
《电子器件》
CAS
1996年第3期159-164,共6页
Chinese Journal of Electron Devices
关键词
扭摆式
微硅
加速度计
Planar vibrator. micromechanical silicon accelerometer.
