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MOCVD的气动控制回路设计

Design of Pneumatic Control for MOCVD
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摘要 介绍了MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)液态源金属有机物化学气相沉积设备,研究设计了基于PLC和触摸屏的全自动气动控制回路,实现了对装置中气动元件的自动控制。该方法提高了MOCVD设备的自动化控制水平和安全可靠性,确保了工艺的重复性和稳定性。
出处 《液压与气动》 北大核心 2006年第9期38-40,共3页 Chinese Hydraulics & Pneumatics
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