摘要
详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理，并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。
The operating principle of a planar vibrator micromechanical silicon accelerometer is introduced. This accelerometer stractural design method is described with the theory and mechanics of materials.
出处
《传感器技术》
CSCD
1996年第6期34-37,共4页
Journal of Transducer Technology
关键词
平面振动式
微硅型
加速度计
结构设计
Planar vibrator:Micromechanical silicon Accelerometer Structural design
