摘要
在信息存储、生物传感器、亚波长光学器件等领域,纳米压印技术已成为价格相对较低、性能可靠、具有量产能力的制备技术。通过对纳米压印技术专利文献的定量和定性分析,从技术层面和竞争层面上把握纳米压印的技术发展脉络和竞争格局,研究了纳米压印技术领域的发展概况、技术群聚和各国的技术情况,试图显示出世界纳米压印技术的现状、特点和发展趋势。
Nanoimprint technique has been applied in information storage, biosensor and subwavelength optical device for low cost, reliability and high-throughput. Qualitative and quantitative patent analyses were both discussed to study the development, patent clusters and competition situation of nanoimprint.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第3期150-154,共5页
Micronanoelectronic Technology
基金
上海市科技发展基金软科学研究重点课题资助(066921038)
