微封闭真空微电子二极管的实验研究

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摘要微封闭真空微电子二极管的实验研究＊刘卫东朱长纯（西安交通大学，７１００４９，西安）对真空微电子器件进行真空封装，是其得以广泛应用的重要先决条件［１］．未密封的真空微电子器件的长期稳定工作及各项性能测试，往往需要庞大的真空系统，这限制了它的广泛应用．目...

作者刘卫东朱长纯

机构地区西安交通大学

出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期121-123,共3页 Journal of Xi'an Jiaotong University

基金国家自然科学基金

关键词真空二极管二极管微电子二极管微封闭

参考文献5

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西安交通大学学报

1997年第4期

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