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薄膜内应力的分析和计算
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摘要
应用凝聚体的改进的TFD理论和弹性力学方法分析了薄膜内应力的产生机制,给出了理论上计算内应力值的方法.指出薄膜内应力主要是界面电子运动连续条件的必然结果,并给出了与实测应力值一致的理论预测结果.
作者
程开甲
程漱玉
机构地区
国防科学技术工业委员会
出处
《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》
1998年第1期20-29,共10页
关键词
界面
电子密度
内应力
薄膜
力学性能
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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杨杰,王晨,陶琨,范毓殿.
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.真空科学与技术,1993,13(5):352-355.
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