摘要
分析了静电马达的工作原理及静电力在微领域中的优势;综述了静电马达的发展历程及国内外研究现状,并对其应用前景进行了评析和展望。
Analysed the principle of electrostatic motor and advantages of electrostatic force in micro- fields; summarized the development and research status at home and abroad, and pointed out the pros- pects for the application of electrostatic motor.
出处
《微电机》
北大核心
2009年第5期47-50,共4页
Micromotors
关键词
微马达
静电
可变电容
综述
Micro-motor
Electrostatic
Variable capacitance
Review
