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ZnO薄膜的光学性质研究
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摘要
采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地淀积了ｃ轴取向性好的ＺｎＯ薄膜。经过优化计算，获得并分析了不同氧分压下制备的ＺｎＯ薄膜的折射率ｎ和消光系数ｋ的数值；同时得到了吸收谱和光学带隙Ｅｏｐｔ，用能带模型解释了Ｅｏｐｔ的变化规律。
作者
贺洪波
易葵
范正修
机构地区
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第6期799-802,共4页
Acta Optica Sinica
关键词
薄膜
光学性质
吸收谱
光学带隙
氧化锌薄膜
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
O484.41 [理学—固体物理]
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