摘要
本文对常见的矩形槽牵引泵在分子流态下的通道抽气机理进行了分析，建立了计算牵引泵抽气特性的数学模型，给出了等槽宽变槽深矩形牵引通道抽气特性的计算方法，对改进分子泵的设计具有实际意义。
Abstract In this paper, we analysis the pumping principle of MDP in free molecular flow, establish the mathematics model of the pumping performa nce of MDP, give out the calculating method of pumping speed and compression rat io for varied rectangle channel.
出处
《真空》
CAS
北大核心
1999年第2期9-11,共3页
Vacuum
