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电子探针(EPMA)简介 被引量:29

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摘要 1概要电子探针(electron probe micro analyzer,EPMA)用于研究物质表面上的元素组成及其分布。利用检测电子束照射物质表面时产生的特征X射线,可以在物质表面进行从微区到大面积的(非破坏性的)图像观察和元素分析(组成元素的判定以及含量分析)。
作者 龚沿东
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期578-580,共3页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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引证文献29

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