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电子探针(EPMA)简介
被引量:
29
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摘要
1概要电子探针(electron probe micro analyzer,EPMA)用于研究物质表面上的元素组成及其分布。利用检测电子束照射物质表面时产生的特征X射线,可以在物质表面进行从微区到大面积的(非破坏性的)图像观察和元素分析(组成元素的判定以及含量分析)。
作者
龚沿东
机构地区
岛津国际贸易(上海)有限公司沈阳分公司
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期578-580,共3页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
电子探针
ANALYZER
物质表面
特征X射线
电子束照射
元素组成
组成元素
元素分析
分类号
TN14 [电子电信—物理电子学]
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