摘要
根据多光束干涉原理设计出用于薄膜太阳能电池的异型布拉格背反射器(IDBR)。该异型布拉格背反射结构由两对非晶硅(36.5 nm)/二氧化硅(81 nm)分布式布拉格反射器(DBR)结构与三对非晶硅(73 nm)/二氧化硅(162 nm)DBR结构组合而成。讨论了不同结构的背反射器性能,分析了IDBR中心波长与层数的选择依据。采用迭代法计算了IDBR的反射性能。用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上生长出具有5对α-Si:H/SiO2结构的IDBR,并测试其反射光谱曲线。实验证明该反射器在420～1400 nm的光谱范围内设计反射率达到87%,在600～1300 nm波长范围内的平均反射率高达91.6%,从而具有显著提高太阳能电池的宽谱吸收效率的潜力。
The irregularly shaped distributed Bragg reflector（IDBR） for thin film solar cell is designed according to the theory of multi-beam interference,contains two pairs of α-Si：H（36.5 nm）/SiO2（81 nm） distributed Bragg reflector（DBR） and three pairs of α-Si：H（73 nm）/SiO2（162 nm） DBR.Different structures of back reflector are discussed.The criterion to choose the central wavelength and pairs of DBR is analyzed.The method of iteration is used to calculate the reflectivity.The IDBR is fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition（PECVD） on a silicon wafer.The experimental result shows that the average reflectivity of IDBR is 87% in the spectral range of 420~1400 nm,and is as high as 91.6% from 600~1300 nm.The result indicates that this design has the potential to enhance the light absorption for thin film solar cells in broad band.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期276-280,共5页
Acta Optica Sinica
基金
上海-应用材料研究与发展基金(09520714700)
上海市自然科学基金(09ZR1437500)
新泰研究与发展课题基金(2009-07)资助课题
关键词
薄膜
薄膜太阳能电池
异型布拉格背反射镜
迭代法
等离子体增强化学气相沉积
thin film
thin film solar cell
irregularly shaped distributed Bragg reflector
iteration
plasma enhanced chemical vapor deposition
