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多晶硅切割液废液的回收与利用 被引量:6

Recovery and Use from Polysilicon Cutting Fluid Waste Solution
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摘要 结合工程实际,介绍了太阳能产业用多晶硅片切割过程中产生的割液废液的处理工艺及回收工艺,并分析了它的投资成本和经济效益。 Combining the actual project,the article introduces treatment and recovery techniques from cutting fluid waste solution in solar silicon chip cutting process.
作者 张照元 田力
出处 《中国环保产业》 2011年第8期55-57,共3页 China Environmental Protection Industry
关键词 太阳能产业 切割液废液 聚乙二醇 处理工艺 多晶硅片 solar silicon chip cutting fluid waste solution polyethylene glycol treatment techniques polysilicon
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