非晶硅太阳能电池用气无机气相色谱分析方法研究

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摘要非晶硅太阳能电池用气无机气相色谱分析方法研究蒋文全（北京有色金属研究总院测试所北京，１０００８８）本文详细研究无机气相色谱法对非晶硅太阳能电池制造工艺过程中所用气体的分析方法。不仅提出了特种气体ＳｉＨ＿４，Ｂ＿２Ｈ＿６，ＰＨ＿３，，ＣＨ＿４，等及其混...

作者蒋文全

机构地区北京有色金属研究总院测试所

出处《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1994年第S2期93-93,共1页 Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)

关键词气相色谱法制造工艺过程色谱分析方法色谱固定相杂质分析保留值螯合物多维气相色谱仪痕量金属检测限

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云南大学学报（自然科学版）

1994年第S2期

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