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新型光学二维图形圆度测量装置

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摘要中国计量科学研究院成功研制出一种高精度的新型光学二维图形圆度测量装置并通过专家验收。该装置可用于光学影像测量设备标准器的溯源，为集成电路、印刷电路和机械零件等加工制造行业的光学制版设备和光学成像加工设备的准确度验收提供了新的可能。

出处《军民两用技术与产品》 2012年第12期30-30,共1页 Dual Use Technologies & Products

关键词光学影像测量装置二维图形圆度中国计量科学研究院加工设备测量设备集成电路

分类号 TP334.2 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]

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