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硅片用切割钢丝生产及断线分析 被引量:6

Production and wire broken analysis of sawing wire for silicon
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摘要 介绍切割钢丝生产的工艺要求和过程,分析切割钢丝断丝原因:(1)原料材质不合格或钢丝存在表面缺陷;(2)排线间距混乱或钢丝端末滑跑导致压线;(3)切割工艺不当。给出预防措施:(1)加强来料检验,严格生产过程控制,避免各个工序对钢丝表面的损伤;(2)控制工字轮排线角度在10°内,严格端末固定作业程序,用户打结作业前不可将防止压线的胶带提前撕掉;(3)在多线切割中,单位钢丝内切割的硅棒面积越小,钢丝的断线率越低,控制切割系数小于120。在使用过程中针对钢丝的断线原因,适当采取预防措施可以很好的控制断线率,从而节约切割成本,提高硅片质量。 Abstract To introduce the technical requirement and process of sawing wire and analyze wire broken reason of sawing wire: ( 1 ) raw material is not qualified or steel wire has surface defect. (2)row spacing is mess or steel wire' s end slipped and caused problem. (3) wrong sawing technology. Prevent measures are given : ( 1 ) to reinforce saw material checking, strictly control production process to avoid of surface defect of each process. (2) to control spool wire' s taking angle below 10°, strictly follow ending fastening process, and users cannot tear off the tape before knotting. (3) during the multi-line sawing, the smaller the silicon rod saws in a unit, the more lower the broken rate, and control sawing coefficient under 120. To focus on steel wire' s broken reason to handle it well to control broken rate, and then saving sawing cost and improving silicon quality.
出处 《金属制品》 2013年第5期9-11,共3页 Metal Products
关键词 切割钢丝 硅片切割 生产工艺 断线分析 预防措施 sawing wire silicon sawing production technology wire broken analysis prevent measure
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参考文献8

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共引文献22

同被引文献28

引证文献6

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