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微装配系统中精密定位装置的研制 被引量:6

Design of Precise Position Instrument for Micro-Assemble System
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摘要 介绍了一种微型装配系统中的精密定位装置 ,该系统利用了外形尺寸为 2 mm的电磁型微电动机制作了 5mm× 6mm的微型机器人小车作为粗定位的执行器和装配机器人 ;利用压电晶体的压电、电致伸缩特性实现了微工作台的精密定位 .系统还利用了图像采集系统来实现位置反馈和实时系统状态显示和控制 。 This paper presented a precise position instrument for micro assemble system. A 2 mm micro motor is used to design a kind of micro car whose size is about 5 mm×6 mm, which is used as the driver and assemble robot. Piezoelectric crystal is used to realize the precise movement of the micro worktable. An image system is used to monitor the process and feedback the assembly position.
出处 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1483-1485,共3页 Journal of Shanghai Jiaotong University
关键词 微电动机 微型机器人 精密定位系统 微装配系统 microelec tromechanical systems micro motor micro robot precise position system piezoelectric crystal
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献4

  • 1张琛,微米纳米科学与技术,1995年,1卷,1期,40页
  • 2赵小林,微细加工,1995年,3期,44页
  • 3Chong H Ahn,Proc 7th IEEE Wordshop on MEMS,1993年
  • 4Fan L S,IEEE Trans Electron Devices,1988年,75卷,724页

共引文献8

同被引文献67

引证文献6

二级引证文献39

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