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基于Minitab软件的多晶硅生产过程质量分析

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摘要如何提高改良西门子法多晶硅生产多晶硅产品质量,是行业共同关注的焦点。本文应用Minitab软件对多晶硅生产过程中各工序及因素进行能力评估,对改善多晶硅产品质量过程管控,稳定提升产品质量进行指导。

作者张耀平董燕军

机构地区内蒙古神舟硅业有限责任公司

出处《内蒙古石油化工》 CAS 2013年第13期60-62,共3页 Inner Mongolia Petrochemical Industry

关键词多晶硅 Minitab软件能力评估质量分析

分类号 TP399 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TN3 [电子电信—物理电子学]

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内蒙古石油化工

2013年第13期

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