类金刚石碳膜的热稳定性被引量：13

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摘要总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段 ,概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化 ,评述了国内外的最新研究进展。

作者夏立芳李光马南

机构地区哈尔滨工业大学材料科学与工程学院双太电子实业有限公司

出处《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2000年第4期80-85,共6页 Materials Science and Technology

关键词类金刚石碳膜热稳定性退火膜结构内应力

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] O613.71 [理学—无机化学]

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材料科学与工艺

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