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利用LIGA技术研制超微步进电机

The Fabrication of Stepping Micro-motor Using LIGA Technology
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摘要 文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成 ,线圈由手工在显微镜下绕制完成 ,转子直径 2mm ,整个电机直径 5mm。 The article reports the design, the fabrication process and the SEM photo of the micro motor. The stator with 5mm diameter and the rotor with 2mm diameter are fabricated with LIGA process, and the coils are wounded by hand in the microscope.
出处 《微特电机》 北大核心 2001年第3期18-20,共3页 Small & Special Electrical Machines
关键词 超微步进电机 LIGA技术 微加工技术 导磁棒 LIGA technology micro stepping motor MEMS micro fabrication
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