摘要
文章对使用特种气体的半导体行业—面板企业洁净室为研究对象,以案例企业CVD工艺制成中能产生较大后果危害的NF3、NH3、SiH4供气管道作泄漏效果模拟,利用ALOHA软件可模拟特气泄漏后影响范围的特性,进行NF3、NH3、SiH4泄漏后毒性影响范围和SiH4火灾危险性的数值模拟。结果为企业设备维保、现场维护等人工岗设定提供了泄漏后果影响范围和防护安全距离的指导意见。
出处
《化工管理》
2020年第23期167-168,共2页
Chemical Engineering Management
