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基于PLC的真空镀膜装置控制系统设计 被引量:2

Design of Control System for Vacuum Coating Device Based on PLC
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摘要 在对真空镀膜装置工作原理分析的基础上,设计了基于PLC的真空镀膜装置控制系统,并完成了控制系统关键器件的选型。该控制系统有效提升了真空镀膜装置的自动化控制能力,镀膜的精确性和效率得到了提高。 Based on the analysis of the working principle of vacuum coating device,the control system of vacuum coating device based on PLC is designed,and the selection of key components of the control system is completed.The control system effectively improves the automatic control ability of the vacuum coating device,and the accuracy and efficiency of the coating are improved.
作者 余键 YU Jian(Zhejiang Institute of Mechanical&Engineering,Hangzhou 310053,China)
出处 《机械工程与自动化》 2022年第6期176-177,180,共3页 Mechanical Engineering & Automation
基金 2021年度浙江省高等学校国内访问工程师“校企合作项目”(FG2021051)。
关键词 PLC 真空镀膜装置 控制系统 PLC vacuum coating device control system
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