循环氢压缩机应用于多晶硅生产冷氢化工艺段

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摘要陕西某年产8万吨绿色低碳节能电子级粒状多晶硅生产线项目中,循环氢压缩机应用于整个工艺流程中的冷氢化工段,属于核心设备。气态四氯化硅和氢气(来自循环氢压缩机的循环氢气和来自补充氢气压缩机的补充氢气)混合加热后,在冷氢化流化床反应器中,与加入的硅粉发生气固反应生成三氯氢硅后进入后续冷却除杂工序。

出处《宁波化工》 2024年第1期30-30,共1页 Ningbo Chemical Industry

关键词流化床反应器四氯化硅粒状多晶硅循环氢压缩机氢气压缩机三氯氢硅混合加热气固反应

宁波化工

2024年第1期

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