摘要
NY-1型电化学C-V自动测试仪是用于半导体外延层载流子浓度纵向分布的测量。由电解液/半导体结电容的测量获得载流子浓度。由结电容及腐蚀时流过结的电量可获得对应的深度。交替进行电容、电流测量即可获得载流子浓度纵向分布。该测试仪将电容电流测量、数据处理、结果输出等测试过程由计算机自动进行。已成功地在沪、杭、宁多家用户的砷化镓外延片进行测量并通过江苏省科委的鉴定。鉴定委员会认为“NY-1型电化学C-V自动测试仪”总体设计与单元设计合理。电化学室、恒电位仪、光照系统等单元性能良好。整机各部分工作协调、性能稳定,在国内处于领先地位,已成功地用于砷化镓外延片的测试。对载流子浓度10^(15)～10^(19)cm^(-3)砷化镓材料的分析结果与进口设备PN4200型的分析数据基本相同,可满足实用要求代替进口。本文除对该测试仪的原理、软件及硬件进行描述分析外,还对电解液/砷化镓结特性进行了研究。
This paper is the summary for develop of NY-1 Automatic Electrochemical C-V Meter. This paper descules the principle, stnueture of instument, system of hardware and software, etectrolyte used GaAs, characteristic for the junction of electrolyte/GaAs, and some results of measurements.
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
1992年第2期27-34,共8页
Journal of Electronic Measurement and Instrumentation
