摘要
利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合。
Cantilever beam type piezoresistive acceleration sensor has been fabricated using silicon micromachining techniques.The fabricated devices have been subjected to shock tests,have an average measured sensitivity of 1#μV/gn for one beam supported masses structure,1.6#μV/gn for two beam supported masses structrue,the results tally with theoretical value.
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第11期31-33,共3页
Journal of Transducer Technology
