GaAs光阴极材料的液相外延被引量：2

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摘要利用液相外延技术生长出了GaAs光阴极材料,并对外延后的材料进行了观察与分析,测试了外延层厚度的均匀性,外延层表面及内部的氧、碳污染以及外延层中载流子浓度的纵向分布情况。结果表明,用此法生长的外延层表面光亮、平整、界面清晰、平直、厚度均匀,载流子浓度达7.6×10^(16)cm^(-3),少子扩散长度达2.1μm。

作者张冰阳何益民朱李安张济康高鸿楷侯洵

机构地区中国科学院西安光机所

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期130-133,共4页 Chinese Journal of Rare Metals

关键词砷化镓光阴极液相处延

分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]

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稀有金属

1992年第2期

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