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便携式分压力质谱计校准装置的性能测试研究
1
作者 姚雪琦 董云宁 +4 位作者 闫睿 陈俊儒 丁双 康朋伟 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期306-311,共6页
文章对新研制的便携式分压力质谱计校准装置的部分性能进行了测试。采用参考电离真空计测量了装置的极限真空度;对于流导值在10^(-2) m^(3)/s的圆孔型抽气流导元件,通过精确测量其直径和厚度的尺寸,采用公式计算得到分子流条件下的流导... 文章对新研制的便携式分压力质谱计校准装置的部分性能进行了测试。采用参考电离真空计测量了装置的极限真空度;对于流导值在10^(-2) m^(3)/s的圆孔型抽气流导元件,通过精确测量其直径和厚度的尺寸,采用公式计算得到分子流条件下的流导值;对于孔径在微米量级的进气流导元件,采用定容衰减压力的方法通过实验测量确定其流导值;采用同一真空计分别测量抽气流导元件两端的气体压力获得返流比。测试研究结果表明:装置的极限真空度为4.8×10^(-7) Pa,抽气流导元件对N2的流导值为1.37×10^(-2) m^(3)/s,对N_(2)的返流比为0.193,两个进气流导元件对N_(2)的流导值分别为3.81×10^(-6) m^(3)/s、4.50×10^(-8) m^(3)/s,综合分析可得装置对N_(2)的校准范围为(4×10^(-1)~5×10^(-6))Pa。 展开更多
关键词 校准装置 分压力 性能测试 质谱计 便携式
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便携式真空计校准装置 被引量：26
2
作者 卢耀文 陈旭 +2 位作者 李得天 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期462-467,共6页
为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置。采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准。为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种... 为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置。采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准。为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法。实验结果证实该装置的校准范围可达1×105~4×10-6Pa,合成标准不确定度为1.3%~4.7%。装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm,总重量小于40 kg。总之,该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点。 展开更多
关键词 真空计 计量 校准 便携式
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便携式真空漏孔校准装置 被引量：21
3
作者 卢耀文 陈旭 +3 位作者 李得天 刘波 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1179-1183,共5页
针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校... 针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校准。标准气体流量系统采用直径约为1μm的小孔获得了10^-10m3／s量级的分子流导，仅用一台满量程为1．33×104Pa的电容薄膜规真空计（coc）作为参考标准，通过直接测量和膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力，从而获得较宽范围的标准气体流量。研究结果表明，装置的校准范围为3．5×10^-6-4．6×10^-11Pa·m3／s，合成标准不确定度为1.8％～2．O％，外形尺寸减小到400mm×300mm×400mm，总重量小于35奴。 展开更多
关键词 真空漏孔 计量 校准 便携式
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一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置 被引量：18
4
作者 卢耀文 陈旭 +4 位作者 李得天 齐京 刘波 闫睿 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期504-509,共6页
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子... 为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。 展开更多
关键词 累积法 固定流导法 真空漏孔 漏率
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定容法正压漏孔校准装置 被引量：14
5
作者 卢耀文 齐京 +5 位作者 陈旭 刘志宏 张明志 闫睿 徐天伟 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期579-584,共6页
研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa（差压式）、1.33×10^5Pa（绝压式）的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296... 研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa（差压式）、1.33×10^5Pa（绝压式）的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围。研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3×10^-1~4×10^-8Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2%~3.2%。 展开更多
关键词 正压漏孔 校准 检漏 定容法
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方向规用于空间站检漏的探讨 被引量：5
6
作者 卢耀文 陈旭 +6 位作者 李得天 闫荣鑫 冯焱 成永军 赵澜 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1174-1178,共5页
泄漏监测是在轨空间站长期可靠运行必须解决的难题,本文开展了方向规用于空间站检漏的应用基础研究。在地面真空实验系统上,用小孔向真空室引入气体模拟空间站泄漏,通过磁力传动系统改变方向规入口法线与小孔中心线夹角模拟与空间站泄... 泄漏监测是在轨空间站长期可靠运行必须解决的难题,本文开展了方向规用于空间站检漏的应用基础研究。在地面真空实验系统上,用小孔向真空室引入气体模拟空间站泄漏,通过磁力传动系统改变方向规入口法线与小孔中心线夹角模拟与空间站泄漏点的方位,通过调整方向规在刻度尺上的位置模拟与空间站泄漏点的距离。在通过漏孔漏率分布服从余弦定律的条件下,研究结果表明用方向规对可疑泄漏点进行扫描,在一定范围内可确定漏孔位置并估计漏率大小,最后讨论了将方向规用于空间站检漏需要进一步研究解决的相关问题。 展开更多
关键词 方向规 空间站 检漏 定向分子流
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复合型便携式真空计校准装置 被引量：17
7
作者 卢耀文 陈旭 +2 位作者 李得天 齐京 查良镇 《真空》 CAS 2013年第3期1-5,共5页
在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置。将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围。实验结果表明,装置的校准范围为1... 在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置。将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围。实验结果表明,装置的校准范围为105Pa～10-5Pa,合成标准不确定度为1.3%～2.5%。装置的外形尺寸为450 mm×400 mm×750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准。 展开更多
关键词 校准装置 校准方法 便携式 真空计
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延胡索乙素提取工艺优选研究 被引量：11
8
作者 卢耀文 杨中林 《中成药》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1247-1248,I0001,共3页
关键词 延胡索 延胡索乙素 提取 工艺参数
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四极质谱计的计量特性研究 被引量：4
9
作者 卢耀文 冯焱 李得天 《真空与低温》 2007年第4期222-228,239,共8页
四极质谱计是一种分压力测量仪器,可广泛应用于残余气体分析和真空流量的测量,其计量特性需要深入研究。用N2、Ar、He3种气体作为实验气体,对4台应用范围较广、具有一定代表性的商用四极质谱计的线性、长期稳定性、短期稳定性、离子源... 四极质谱计是一种分压力测量仪器,可广泛应用于残余气体分析和真空流量的测量,其计量特性需要深入研究。用N2、Ar、He3种气体作为实验气体,对4台应用范围较广、具有一定代表性的商用四极质谱计的线性、长期稳定性、短期稳定性、离子源参量及使用历史对灵敏度的影响等性能进行了实验研究,并分析了它们各自的计量特性与特点,其结论对四极质谱计的应用具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 四极质谱计 线性 稳定性 计量特性
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四极质谱计在高压力下的测量方法 被引量：2
10
作者 卢耀文 张涤新 +5 位作者 冯焱 郭美如 成永军 赵光平 赵澜 李莉 《真空与低温》 2007年第2期85-89,115,共6页
四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10-3Pa。通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。
关键词 四极质谱计 分压力 灵敏度 线性
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一种下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏装置 被引量：11
11
作者 卢耀文 李得天 +6 位作者 齐京 董云宁 王欢 闫睿 杨传森 延峰 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期1-5,共5页
为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s... 为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-15)Pa·m^3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10^(-16)Pa·m^3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏 累积比较法 标准气体流量 非线性
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一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计 被引量：6
12
作者 卢耀文 董云宁 +8 位作者 杨传森 徐宇杰 闫睿 王汐月 陈俊儒 魏萌萌 郝慧萍 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期422-426,共5页
本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流... 本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(10^(3)-10^(-6)) Pa的示漏He气分压力;采用10^(-8)m^(3)/s和10^(-10)m^(3)/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10^(-5)-10^(-16)) Pa·m^(3)/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2%-2.8%。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏仪 固定流导法 分子流导 标准气体流量计
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一种下限为10^(-10)Pa·m^3/s的正压漏孔校准装置 被引量：4
13
作者 卢耀文 刘志宏 +6 位作者 闫荣鑫 齐京 王欢 田虎林 闫睿 杨传森 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1019-1024,共6页
为了解决漏率小于10^(-8)Pa·m^3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10^(-10)Pa·m^3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后... 为了解决漏率小于10^(-8)Pa·m^3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10^(-10)Pa·m^3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后的示漏气体引入累积室经过一段时间的累积来提高浓度,采用膨胀衰减压力和分子流进样将混合气体引入质谱分析室,提出对质谱分析室中示漏气体进行累积模式的测量方法,通过四极质谱计作为比较器分别测量漏孔泄漏形成的混合气及配置的标准混合气体在累积模式下离子流的变化率得到漏孔漏率,解决了无法测量微小示漏气体离子流信号的技术瓶颈;采用全金属密封结构和特殊的工艺处理解决了累积室中延伸下限由于本底示漏气体的影响因素,采用体积小于1 mL的取样室通过直接取样和膨胀衰减压力取样获得与漏孔累积后形成同等数量的标准混合气体,解决了微小漏率正压漏孔校准所用标准混合气体获得。为此基于累积比较法的正压漏孔校准方法实现了10^(-8)～10^(-10)Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度不超过7. 5%。 展开更多
关键词 正压漏孔 累积比较法 分子流动态进样 微小漏率漏孔
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一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置 被引量：5
14
作者 卢耀文 董云宁 +6 位作者 闫睿 余荣 杨传森 王汐月 宋瑞海 徐宇杰 陈俊儒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期416-420,共5页
针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10~10-9 Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10-1~10-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用... 针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10~10-9 Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10-1~10-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能,用磁悬浮转子真空计作为参考标准,实现在10-1~10-4 Pa范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准。研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量,避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足。实验结果证明,装置对分子泵抽速的测试范围为3000~5000 L/s,测量结果的合成标准不确定度为2.2%~4.4%。 展开更多
关键词 抽速 分子泵 CF400接口 标准气体流量计
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极高真空校准室内残余气体的成分分析 被引量：39
15
作者 成永军 李得天 +4 位作者 张涤新 冯焱 卢耀文 赵澜 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期54-59,共6页
用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、C... 用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2。烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4。整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-9Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO。整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速。用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10-9Pa下降到9.12×10-10Pa。不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO2主要来自于四极质谱计。 展开更多
关键词 不锈钢 极高真空 残余气体 四极质谱计 非蒸散型吸气剂泵
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超高／极高真空测量发展综述 被引量：19
16
作者 李得天 成永军 +3 位作者 冯焱 卢耀文 赵澜 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期522-530,共9页
本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超... 本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展。内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解。 展开更多
关键词 真空测量 电离规 X射线效应 电子激励脱附 场致发射 激光电离
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鼻吸入薄荷油对小鼠精神疲劳行为及脑内氨基酸类神经递质的影响 被引量：17
17
作者 梁浩明 龙晓英 +2 位作者 卢耀文 宋浩辉 叶静宜 《中药新药与临床药理》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期649-654,共6页
目的研究鼻吸入薄荷油对小鼠精神疲劳行为及脑内氨基酸类神经递质的影响。方法雄性KM小鼠随机分为空白对照组、蒸馏水对照组、睡眠剥夺模型组、薄荷油组,采用强迫游泳实验和戊巴比妥钠诱导睡眠实验观察小鼠情绪与睡眠行为的改变;水上站... 目的研究鼻吸入薄荷油对小鼠精神疲劳行为及脑内氨基酸类神经递质的影响。方法雄性KM小鼠随机分为空白对照组、蒸馏水对照组、睡眠剥夺模型组、薄荷油组,采用强迫游泳实验和戊巴比妥钠诱导睡眠实验观察小鼠情绪与睡眠行为的改变;水上站立法对小鼠进行连续48 h睡眠剥夺,旷场实验观察自发活动的变化,高效液相柱前衍生2,4-二硝基氟苯法测定给药后2 h内嗅球、下丘脑和皮质中天冬氨酸(Asp)、谷氨酸(Glu)、甘氨酸(Gly)、γ-氨基丁酸(GABA)含量。结果与空白对照组比较,鼻吸入薄荷油后,小鼠的强迫游泳不动时间和戊巴比妥钠诱导的睡眠时间均显著缩短。与睡眠剥夺模型组比较,鼻吸入薄荷油能极显著地提高睡眠剥夺小鼠的自发活动;嗅球和下丘脑Asp含量在10 min后显著提升,30 min后开始回落;各脑区Gly含量则无显著性改变;三个脑区Glu/GABA比值有显著性升高,15 min时达到峰值后逐渐回落至睡眠剥夺模型组水平。给药后2 h内的相关性分析表明,嗅球分别与下丘脑、皮层的Asp和Glu存在较强相关性。结论鼻吸入薄荷油可改善精神疲劳症状,具有良好的抗精神疲劳作用,其作用机制与其通过嗅觉系统调控精神疲劳相关脑区氨基酸类神经递质含量有关。 展开更多
关键词 薄荷油 睡眠剥夺 行为学 氨基酸类神经递质 嗅觉系统
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材料放气率测量方法评述 被引量：21
18
作者 张涤新 曾祥坡 +2 位作者 冯焱 卢耀文 赵澜 《真空》 CAS 北大核心 2010年第6期1-5,共5页
材料放气率被用于评价真空材料性能,随着理论研究的深入和实践经验的积累,对材料放气率测试方法有了更具体和更深刻的认识。本文介绍了瑞士、德国、日本、印度以及国内材料放气率测试技术的发展,并对各装置的结构特点和性能指标进行了... 材料放气率被用于评价真空材料性能,随着理论研究的深入和实践经验的积累,对材料放气率测试方法有了更具体和更深刻的认识。本文介绍了瑞士、德国、日本、印度以及国内材料放气率测试技术的发展,并对各装置的结构特点和性能指标进行了评述。 展开更多
关键词 放气率 压力上升率 流导法 系统本底
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超高/极高真空校准研究进展 被引量：6
19
作者 李得天 成永军 +3 位作者 冯焱 赵澜 卢耀文 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期641-648,共8页
本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展。介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点。从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表... 本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展。介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点。从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表面处理技术和真空获得技术的进展,在10-10Pa^10-8Pa压力范围的超高/极高真空校准技术也取得了可喜的进展,校准系统的研制、维护成本日趋低廉,校准方法更为简单,校准结果更为准确。 展开更多
关键词 超高/极高真空校准 分子束法 压力衰减法 流导调制法 分流法
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真空计量标准的研制与应用 被引量：11
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作者 李得天 张涤新 +2 位作者 冯焱 成永军 卢耀文 《真空》 CAS 北大核心 2009年第6期1-7,共7页
兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准。其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围... 兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准。其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围为(10-10～105)Pa;程控式真空规校准装置适用于工业部门,其校准范围为(10-4～105)Pa;为实现质谱计的校准,研制了一台具有三路相同独立进样系统的分压力质谱计校准装置,标准分压力通过磁悬浮转子规以两种不同的方法进行测量,该校准装置可实现(10-7～10-1)Pa范围内的分压力校准;为实现真空漏孔的校准,研制了恒压式气体微流量标准装置和固定流导法气体微流量标准装置,恒压式气体微流量标准装置的校准范围为(10-8～10-2)Pa·m3/s,固定流导法气体微流量标准装置的校准范围为(10-10～10-5)Pa·m3/s,漏孔漏率的校准通过比较被校漏孔和标准气体微流量计在一台四极质谱计上引起示漏气体离子流的大小计算得到;为实现正压漏孔的校准,研制了一台正压漏孔校准装置,采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为(5×10-8～10-1)Pa·m3/s;研制了一台定向流真空校准装置,实现对方向规的校准和非平衡态分子流的研究,装置的校准范围为(10-7～10-1)Pa。 展开更多
关键词 真空计量 真空标准 真空规 质谱计 漏孔
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