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对单晶金刚石进行高温退火处理的研究进展
1
作者 贾元波 满卫东 +4 位作者 伍正新 梁凯 范冰庆 付萍 赵洪阳 《广州化工》 2025年第2期7-9,19,共4页
单晶金刚石具有良好的物理化学性质,既可以被应用于磨削等传统行业也可适用于半导体、5G等新型领域,而工业制备的单晶金刚石会存在缺陷多、光学性质差和应力大等问题,高温退火是一种转化金刚石内部缺陷的常见方法,对单晶金刚石进行退火... 单晶金刚石具有良好的物理化学性质,既可以被应用于磨削等传统行业也可适用于半导体、5G等新型领域,而工业制备的单晶金刚石会存在缺陷多、光学性质差和应力大等问题,高温退火是一种转化金刚石内部缺陷的常见方法,对单晶金刚石进行退火处理是可以有效转变缺陷、降低单晶内应力和提高光学性质的,根据退火条件可以分为高温低压法和高温高压法,本文综述了高温退火对单晶金刚石性质的影响,并介绍了最近的相关研究进展。 展开更多
关键词 单晶金刚石 缺陷 高温低压退火 高温高压退火
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1990-2013年东北地区耕地时空变化遥感分析 被引量：70
2
作者 满卫东 王宗明 +4 位作者 刘明月 路春燕 贾明明 毛德华 任春颖 《农业工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1-10,共10页
为揭示1990-2013年东北地区耕地变化规律,以Landsat TM/ETM+/OLI遥感影像为数据源,采用面向对象与目视解译相结合的分类方法,提取东北地区1990年、2000年和2013年耕地信息,辅以气候、地形、社会经济等数据,分析耕地时空变化特征及其驱... 为揭示1990-2013年东北地区耕地变化规律,以Landsat TM/ETM+/OLI遥感影像为数据源,采用面向对象与目视解译相结合的分类方法,提取东北地区1990年、2000年和2013年耕地信息,辅以气候、地形、社会经济等数据,分析耕地时空变化特征及其驱动因素。结果表明:面向对象分类与目视解译相结合的方法能够快速、准确地完成耕地空间分布信息提取,总体分类精度达93%以上;2013年东北地区现有耕地4.17×105 km2,占东北地区土地总面积的33.51%,其中旱田比例为86.24%;1990-2013年耕地总量增加,2000-2013年比1990-2000年耕地增加速度减小,空间上,耕地呈现南减北增的趋势,新增耕地重心逐渐北移,建设用地侵占耕地速度加快,以省会城市为中心,向东北部蔓延;对湿地、林地、草地开垦减弱,对裸地和海面的农业开发增强,退耕还湿、还草、还林效果明显,耕地变化活跃区处于年降水量在500~700 mm、年均气温在2~4℃、坡度小于3°、高程小于200 m的地理环境中;旱田改为水田规模扩大,旱田质心变化不显著,水田质心向东北移207.41 km。23 a间,虽然气候变化对东北地区耕地变化有一定影响,但政策调控、经济发展、科技进步、人口增长、城市扩张等人文因素仍然是耕地变化和时空分异特征的主要驱动因素。农业发展转型、提高单位面积产量和劳动生产效率,将是未来东北地区耕地发展的必由之路。 展开更多
关键词 遥感 土地利用 分类 耕地 目视解译法 驱动力 东北地区
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金刚石薄膜的性质、制备及应用 被引量：53
3
作者 满卫东 汪建华 +1 位作者 王传新 马志斌 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第1期62-70,共9页
金刚石有着优异的物理化学性质 ,化学气相沉积金刚石薄膜的研究受到研究人员和工业界的广泛关注。通过评述金刚石薄膜的性质、制备方法及应用等方面的研究成果 ,着重阐述化学气相沉积金刚石薄膜技术的基本原理 ,分析了各种沉积技术的优... 金刚石有着优异的物理化学性质 ,化学气相沉积金刚石薄膜的研究受到研究人员和工业界的广泛关注。通过评述金刚石薄膜的性质、制备方法及应用等方面的研究成果 ,着重阐述化学气相沉积金刚石薄膜技术的基本原理 ,分析了各种沉积技术的优、缺点。结合对金刚石薄膜应用的讨论 ,分析了金刚石薄膜在工业应用中存在的问题和制备技术的发展方向。分析结果表明 :MWCVD法是高速率、高质量、大面积沉积金刚石薄膜的首选方法 ;而提高金刚石的生长速度。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 化学气相沉积 性质 制备 应用
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在CH_4-H_2微波等离子体中添加H_2O对大面积金刚石膜生长的研究 被引量：14
4
作者 满卫东 汪建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 刘远勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2005年第6期16-19,共4页
用自制的微波功率为5千瓦的微波等离子体(MWCVD)装置,研究了在CH4-H2反应气体中添加安全廉价的H2O代替O2金刚石膜的沉积状况,以H2/CH4/H2O作为反应气体,成功制备了厚度达到1.1毫米,面积达20平方厘米的金刚石厚膜。在沉积温度为700-900... 用自制的微波功率为5千瓦的微波等离子体(MWCVD)装置,研究了在CH4-H2反应气体中添加安全廉价的H2O代替O2金刚石膜的沉积状况,以H2/CH4/H2O作为反应气体,成功制备了厚度达到1.1毫米,面积达20平方厘米的金刚石厚膜。在沉积温度为700-900℃范围内,研究了CH4/H2=3.0%,H2O/H2=0.0-2.4%范围内金刚石膜沉积的速率,均匀性,形貌以及质量的变化规律。研究结果表明,在反应气体CH4/H2中添加适量H2O能降低金刚石膜中非金刚石碳的含量,提高金刚石膜厚度的均匀性,并对反应气体中添加H2O对CVD金刚石膜生长影响机理进行了阐述。 展开更多
关键词 金刚石膜 微波 化学气相沉积 生长
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MPCVD法在基片边缘生长大颗粒金刚石的研究 被引量：15
5
作者 满卫东 翁俊 +3 位作者 吴宇琼 吕继磊 董维 汪建华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期53-59,共7页
本研究在自制的5 kW大功率MPCVD装置中,利用边缘效应成功的在基片边缘处以50μm/h的沉积速率沉积出晶粒尺寸达500μm左右的大颗粒金刚石并以70μm/h的沉积速率同质外延修复长大了一颗天然的单晶金刚石。在实验中,利用SEM和Ram an光谱对... 本研究在自制的5 kW大功率MPCVD装置中,利用边缘效应成功的在基片边缘处以50μm/h的沉积速率沉积出晶粒尺寸达500μm左右的大颗粒金刚石并以70μm/h的沉积速率同质外延修复长大了一颗天然的单晶金刚石。在实验中,利用SEM和Ram an光谱对基片边缘区域和中央区域所沉积的金刚石颗粒进行了表征。结果表明,边缘处沉积的金刚石颗粒与中央区域沉积的金刚石颗粒相比,具有更大的晶粒尺寸和更好的质量。通过仔细观察实验条件,对边缘效应产生的原因进行了分析,发现由于基片边缘放电,使得基片表面的电场强度和温度分布发生变化,从而导致基片边缘区域的等离子体密度和温度高于中央区域,高等离子体密度和温度的综合作用是使得在基片边缘能以较高的沉积速率沉积出大尺寸金刚石颗粒的主要原因。 展开更多
关键词 MPCVD 边缘效应 大颗粒金刚石
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用氢气／甲醇混合气体在微波等离子体CVD中合成纳米晶粒金刚石膜(英文) 被引量：9
6
作者 满卫东 江建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 熊礼威 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期126-128,131,共4页
用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲醇的混合气体,在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)及扫描隧道显微镜(STM)对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了... 用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲醇的混合气体,在硅片上沉积出纳米晶粒的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、原子力显微镜(AFM)及扫描隧道显微镜(STM)对薄膜的晶粒平面平整性及纯度进行了表征。通过SEM发现,提高甲醇浓度或降低沉积温度可以减小金刚石膜的晶粒尺寸。拉曼光谱显示薄膜中确实存在纳米晶粒的金刚石,并且薄膜的主要成分为金刚石。用AFM测得薄膜表面的粗糙度Rms<80nm,STM观测晶粒的平均尺寸在10-20nm之间。研究结果表明,用MPECVD方法,利用氢气和甲醇的混合气体是制备纳米晶粒金刚石膜的一种理想方法。 展开更多
关键词 纳米晶粒 金刚石膜 微波 化学气相沉积
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微波等离子体同质外延修复金刚石的研究 被引量：9
7
作者 满卫东 谢鹏 +2 位作者 吴宇琼 孙蕾 汪建华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期1157-1161,共5页
用微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长了有缺陷的金刚石颗粒。在同质外延之前,研究了温度因素对金刚石生长表面形貌的影响,研究表明适宜金刚石同质外延的温度范围非常窄,在1030℃左右;温度低于920℃,大尺寸的金刚石单晶颗粒就很难... 用微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长了有缺陷的金刚石颗粒。在同质外延之前,研究了温度因素对金刚石生长表面形貌的影响,研究表明适宜金刚石同质外延的温度范围非常窄,在1030℃左右;温度低于920℃,大尺寸的金刚石单晶颗粒就很难得到,二次形核现象变的很严重。在实验得出的优化温度条件下,对表面有缺陷的天然金刚石进行了同质外延生长,用扫描电子显微镜(SEM)观察发现,原来金刚石表面的裂缝被修复,外延生长速率达到10.3μm/h。 展开更多
关键词 同质外延 金刚石 微波等离子体化学气相沉积
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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备 被引量：4
8
作者 满卫东 孙蕾 +3 位作者 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第2期1-4,共4页
由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石... 由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:在硅衬底上沉积20-30μm的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度(甲烷浓度4%)比提高薄膜的质量(甲烷浓度2%)更有利于提高LED的散热效果。本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料。 展开更多
关键词 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 散热片 LED
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氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀 被引量：4
9
作者 满卫东 汪建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 张宝华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第5期1-4,9,共5页
在铁薄膜的催石墨化作用下研究了用氢等离子体刻蚀由微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)制备的多晶金刚石厚膜的表面。其工艺为:自支撑的金刚石厚膜浸入饱和的三氯化铁水溶液中,然后平放在大气环境中干燥,将处理过后的金刚石膜放入MPCVD... 在铁薄膜的催石墨化作用下研究了用氢等离子体刻蚀由微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)制备的多晶金刚石厚膜的表面。其工艺为:自支撑的金刚石厚膜浸入饱和的三氯化铁水溶液中,然后平放在大气环境中干燥,将处理过后的金刚石膜放入MPCVD装置中,先用氢等离子体将氯化铁还原成铁,然后在800℃左右的温度下,利用铁对金刚石的催石墨化作用及氢等离子体的刻蚀作用将其表面刻蚀。刻蚀完后的金刚石用酸清洗,在丙酮溶液中漂洗,然后用SEM观察刻蚀效果,用Ram an光谱对表面碳的结构进行了表征。最后用机械研磨法对金刚石样品表面进行研磨,并对研磨结果进行对比。实验结果表明,这种方法能够有选择地快速刻蚀金刚石膜的表面,破坏表面晶粒的完整度,降低表面耐磨性,从而提高对粗糙金刚石膜表面研磨的效率。 展开更多
关键词 CVD 金刚石膜 刻蚀 等离子体
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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备 被引量：3
10
作者 满卫东 孙蕾 +1 位作者 汪建华 谢鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期316-318,共3页
由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了... 由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:CVD金刚石薄膜可以有效降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度比提高薄膜的纯度更有利于提高LED的散热效果。 展开更多
关键词 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 散热片 LED
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等离子体技术——一种处理废弃物的理想方法 被引量：12
11
作者 满卫东 吴宇琼 谢鹏 《化学与生物工程》 CAS 2009年第5期1-5,共5页
等离子体环保技术随当今世界环境问题的日益严峻而得到迅速发展。简单介绍了等离子体的相关概念及其处理"三废"的机理,对国内外利用等离子体技术处理各种废弃物的研究现状进行了分析,指出等离子体技术是处理废弃物最有效的方... 等离子体环保技术随当今世界环境问题的日益严峻而得到迅速发展。简单介绍了等离子体的相关概念及其处理"三废"的机理,对国内外利用等离子体技术处理各种废弃物的研究现状进行了分析,指出等离子体技术是处理废弃物最有效的方法之一。 展开更多
关键词 等离子体技术 三废 降解 废物处理 污染物控制
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不同衬底材料上外延金刚石的研究 被引量：7
12
作者 满卫东 吕继磊 +4 位作者 吴宇琼 陈朋 朱金凤 董维 汪建华 《宝石和宝石学杂志》 CAS 2010年第4期6-11,共6页
利用自制的5kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置对在不同衬底材料上外延生长的CVD金刚石进行了研究。利用HPHT金刚石、CVD异质形核生长的金刚石及Ia型天然金刚石样品作为籽晶,分析了不同CH4浓度与基片温度对外延CVD金刚石的影响以... 利用自制的5kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置对在不同衬底材料上外延生长的CVD金刚石进行了研究。利用HPHT金刚石、CVD异质形核生长的金刚石及Ia型天然金刚石样品作为籽晶,分析了不同CH4浓度与基片温度对外延CVD金刚石的影响以及通过扫描电子显微镜表征了CVD金刚石外延面的表面形貌。结果发现,HPHT金刚石为籽晶,由于其自身缺陷导致外延效果不佳;CVD异质形核生长的衬底因形核阶段的晶面生长难以控制而使其外延面较粗糙;经打磨的Ia型天然金刚石才是理想的籽晶。当CH4浓度约为10%、基片温度为1020℃时,CVD金刚石的外延生长速率可达到70.0μm/h。 展开更多
关键词 宝石级金刚石 微波等离子体 化学气相沉积 外延 籽晶
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提高CVD金刚石薄膜刀具膜—基附着力的工艺方法评述 被引量：5
13
作者 满卫东 汪建华 《工具技术》 北大核心 2001年第9期3-8,共6页
提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的附着力是CVD金刚石薄膜刀具得以推广应用的关键因素。本文介绍了国内外采用CVD法制备金刚石薄膜刀具时提高膜—基附着力的典型工艺方法 ,评述了WC
关键词 刀具 金刚石薄膜 膜一基附着力 化学气相沉积 CVD
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图形化CVD金刚石膜的新方法——等离子体辅助固体刻蚀法 被引量：1
14
作者 满卫东 孙蕾 +3 位作者 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第6期1-4,8,共5页
金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。在本研究中,我们用微波等离子体化学气相沉积... 金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。在本研究中,我们用微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石厚膜,在其表面利用氢等离子体辅助刻蚀、铁薄膜的催石墨化作用下,对金刚石膜的形核面进行了选择性的刻蚀。结果表明,该方法具有较高的刻蚀速率(850℃,33.8μm/h),较高的刻蚀选择比,可以对CVD金刚石膜进行较精确的图形化刻蚀,还可通过调节铁薄膜的厚度来实现刻蚀深度的控制。对氢等离子体在整个过程中的作用进行了阐述。 展开更多
关键词 金刚石膜 刻蚀 等离子体 图形化加工
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基片位置对微波等离子体合成金刚石的影响 被引量：3
15
作者 满卫东 孙蕾 +1 位作者 谢鹏 汪建华 《真空与低温》 2008年第3期140-144,共5页
用自制的微波功率为5kW的微波等离子体(MPCVD)装置、用H2/CH4/H2O作为反应气体在较高的沉积气压(12.0kPa)条件下,研究了基片放置在等离子体球边缘附近不同位置对CVD金刚石沉积和生长的影响。结果表明,CVD金刚石的形核和生长对环境的要... 用自制的微波功率为5kW的微波等离子体(MPCVD)装置、用H2/CH4/H2O作为反应气体在较高的沉积气压(12.0kPa)条件下,研究了基片放置在等离子体球边缘附近不同位置对CVD金刚石沉积和生长的影响。结果表明,CVD金刚石的形核和生长对环境的要求是不同的;在等离子体球边缘处不利于金刚石的形核,但有利于高质量金刚石的沉积。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金刚石 微波等离子体 生长
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关于CVD金刚石表面图形化的研究进展 被引量：2
16
作者 满卫东 谢鹏 +2 位作者 吴宇琼 孙蕾 汪建华 《真空与低温》 2008年第2期63-67,共5页
金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料, 但是它极高的硬度和良好的化学稳定性使其难以被加工成型, 因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。系统地介绍了金刚石表面各种图形化的... 金刚石膜是一种具有巨大应用潜力的新型功能材料, 但是它极高的硬度和良好的化学稳定性使其难以被加工成型, 因此如何对金刚石膜表面进行精确的图形化加工是实现制造金刚石器件的关键技术问题之一。系统地介绍了金刚石表面各种图形化的技术, 并且比较了它们的优缺点。 展开更多
关键词 金刚石 图形化 刻蚀 等离子体
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基于GIS和RS的延龙图土地利用动态变化研究 被引量：5
17
作者 满卫东 李春景 《延边大学农学学报》 2012年第1期21-26,59,共7页
根据2000年和2009年的两期遥感图像,通过遥感和地理信息系统空间分析方法,研究了延吉市、龙井市和图们市的土地利用动态变化情况,并与延龙图整个区域的土地利用类型动态变化进行比较.结果表明,延吉市的农用地年变化量最大,水域变化最显... 根据2000年和2009年的两期遥感图像,通过遥感和地理信息系统空间分析方法,研究了延吉市、龙井市和图们市的土地利用动态变化情况,并与延龙图整个区域的土地利用类型动态变化进行比较.结果表明,延吉市的农用地年变化量最大,水域变化最显著;龙井市和图们市农用地和绿地年变化量较大,龙井市的水域变化最显著,而图们市的农用地变化最显著。延龙图整个区域的土地利用类型中,唯有绿地的面积在减少,分别转化为其它3种土地利用类型,尤其转化为农用地的面积最多。 展开更多
关键词 延龙图 土地利用变化 遥感 地理信息系统
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微波CVD法低温制备纳米金刚石薄膜 被引量：5
18
作者 满卫东 汪建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 熊礼威 《武汉化工学院学报》 2006年第4期57-61,共5页
利用甲醇和氢气的混合气体，用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜，本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响．通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了... 利用甲醇和氢气的混合气体，用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜，本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响．通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征．研究结果表明：通过提高甲醇浓度和降低沉积温度可以在直径为50mm的硅片表面沉积高质量的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸大约为10～20nm，并对低温下沉积高质量的纳米金刚石薄膜的机理进行了讨论． 展开更多
关键词 纳米金刚石 微波 化学气相沉积 甲醇
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微波等离子体CVD法在非平面基体上生长金刚石膜
19
作者 满卫东 孙蕾 +1 位作者 汪建华 谢鹏 《工具技术》 北大核心 2008年第2期12-14,共3页
介绍了在微波等离子体CVD装置中,用甲烷和氢气作为原料,在非平面基体(如钨丝、钻头、铣刀等)上生长金刚石薄膜的研究。在金刚石沉积过程中,由于"尖端效应",在基体的尖端很难沉积出金刚石膜。在采用金属丝屏蔽后,克服了"... 介绍了在微波等离子体CVD装置中,用甲烷和氢气作为原料,在非平面基体(如钨丝、钻头、铣刀等)上生长金刚石薄膜的研究。在金刚石沉积过程中,由于"尖端效应",在基体的尖端很难沉积出金刚石膜。在采用金属丝屏蔽后,克服了"尖端效应",成功地在非平面基体上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)分析了金刚石膜的形貌和质量。结果表明:非平面基体不同位置金刚石的晶形不同,晶粒比较细小,膜的质量较高。 展开更多
关键词 非平面基体 金刚石薄膜 微波等离子体CVD法
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氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究
20
作者 满卫东 陈朋 +3 位作者 吴宇琼 吕继磊 董维 朱金凤 《真空与低温》 2011年第1期17-22,共6页
金刚石具有很高的硬度,加工困难,为寻找一种刻蚀效率较高的材料,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在氢等离子体作用下,研究了Fe、Co对CVD金刚石膜表面的刻蚀效率。用SEM观察刻蚀效果,用Raman光谱对其表面结构进行表征。结果表... 金刚石具有很高的硬度,加工困难,为寻找一种刻蚀效率较高的材料,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,在氢等离子体作用下,研究了Fe、Co对CVD金刚石膜表面的刻蚀效率。用SEM观察刻蚀效果,用Raman光谱对其表面结构进行表征。结果表明:在氢等离子体的作用下,Fe、Co对金刚石表面都有明显的腐蚀作用,其中Fe的刻蚀速率较高,并且可以通过对溶碳材料的厚度控制,来实现对刻蚀速率与刻蚀量的有效控制。对刻蚀后的样品用混合酸及丙酮处理后,得到了可与原始金刚石相媲美的质量。 展开更多
关键词 金刚石膜 溶碳材料 刻蚀 MPCVD
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