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纳米压印制作半导体激光器的分布反馈光栅 被引量:4
1
作者 王定理 周宁 +3 位作者 刘文 徐智谋 石兢 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第1期56-59,共4页
分布反馈(DFB)光栅的制作是半导体激光器芯片的关键工艺,通过纳米压印技术在InP基片表面涂覆的光刻胶上压印出DFB光栅图形,并分别通过湿法腐蚀和干法刻蚀技术将光栅图形转移到InP基片上。所制作的DFB光栅周期为240nm(对应于1 550nm波长... 分布反馈(DFB)光栅的制作是半导体激光器芯片的关键工艺,通过纳米压印技术在InP基片表面涂覆的光刻胶上压印出DFB光栅图形,并分别通过湿法腐蚀和干法刻蚀技术将光栅图形转移到InP基片上。所制作的DFB光栅周期为240nm(对应于1 550nm波长的DFB激光器),光栅中间具有λ/4相移结构。采用纳米压印技术制作的DFB光栅相对于通常双光束干涉法制作的光栅具有更好的均匀性以及更低的线条粗糙度,而且解决了双光束干涉法无法制作非均匀光栅的技术难题。相对于电子束直写光刻法,采用纳米压印技术制作DFB光栅具有快速与低成本的优势。采用纳米压印技术在InP基片上成功制作具有相移结构的DFB光栅,为进一步进行低成本高性能的半导体激光器芯片的制作奠定了良好基础。 展开更多
关键词 纳米压印 半导体激光器 分布反馈光栅 相移型光栅 干法刻蚀技术 湿法腐蚀
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用于分布反馈光栅的纳米压印模板制作 被引量:2
2
作者 王定理 刘文 +1 位作者 周宁 徐智谋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2731-2735,共5页
高质量、低成本的压印模板的获得是采用纳米压印技术制作分布反馈光栅的难点,本文采用双层金属掩模及lift-off金属剥离方法制作了适用于紫外压印技术的石英基压印模板。首先,采用电子束光刻技术在镀钛的石英基片表面直写出DFB光栅的光... 高质量、低成本的压印模板的获得是采用纳米压印技术制作分布反馈光栅的难点,本文采用双层金属掩模及lift-off金属剥离方法制作了适用于紫外压印技术的石英基压印模板。首先,采用电子束光刻技术在镀钛的石英基片表面直写出DFB光栅的光刻胶图形,接着,在其表面溅射一层金属镍并进行金属剥离得到与光刻胶相对的图形,最后采用电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术将光栅图形转移到石英基片上,并对模板的表面进行了防粘连处理。所制作的DFB光栅压印模板周期为200nm,光栅中间具有λ/4相移结构,适用于1 310nm波长的相移型DFB半导体激光器光栅的制作。 展开更多
关键词 纳米压印 压印模板 分布反馈光栅
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掺杂蓝青铜的Peierls相变及非线性电输运性质
3
作者 王定理 肖清明 +3 位作者 汤五丰 赵同云 石兢 田德诚 《武汉大学学报(自然科学版)》 CSCD 1999年第3期335-338,共4页
对钾钼蓝青铜 K0.3 Mo O3 及其 Na 离子掺杂单晶 K0.3- x Nax Mo O3 (x = 0.02, 0.05,0.10)系列的 Peierls 相变及77 K 非线性电输运性质进行了系统研究发现 Na 离子掺... 对钾钼蓝青铜 K0.3 Mo O3 及其 Na 离子掺杂单晶 K0.3- x Nax Mo O3 (x = 0.02, 0.05,0.10)系列的 Peierls 相变及77 K 非线性电输运性质进行了系统研究发现 Na 离子掺杂对 K0.3 Mo O3 单晶的 Peierls 相变温度无明显改变,本文认为这是由于 Na 离子所起的两种相反作用的结果; Na 离子掺杂使样品的半导体能隙和第一阈值电场均明显增大,用钉扎理论对后者给予了定性解释;非线性电荷密度波电流 I C D W 与外场间满足指数关系: I C D W∝( V/ V T - 1)α,其中α≈3/2,并随 Na 展开更多
关键词 掺杂蓝青铜 PEIERLS相变 非线性电输运 蓝青铜
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SGDBR激光器中取样光栅的理论和实验研究 被引量:2
4
作者 董雷 张瑞康 +6 位作者 王定理 张靖 陈磊 江山 赵圣之 余永林 刘水华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期356-360,共5页
讨论了取样光栅分布布拉格反射激光器(SGDBR)中取样光栅对激光器调谐范围、输出功率和光谱质量的影响,介绍了其设计流程,并据此对SGDBR进行了实验研究.其取样光栅的反射谱和设计相符,且在30nm准连续调谐范围内边模抑制比都大于30dB.
关键词 SGDBR半导体激光器 取样光栅 梳状光谱
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采用纳米压印技术制作DWDM激光器的研究
5
作者 刘文 +6 位作者 周宁 张义文 邱飞 徐志谋 王定理 李林松 曹明德 《China Communications》 SCIE CSCD 2010年第3期134-138,共5页
适合DWDM系统应用的高性能DFB半导体激光器是现代光通信系统中发射机的核心光电子器件,光栅的设计和制作是决定器件性能的关键因素之一。目前,基于MOCVD设备的材料外延技术趋于稳定,高速器件封装技术也已经成熟,满足DWDM需求的DFB光栅... 适合DWDM系统应用的高性能DFB半导体激光器是现代光通信系统中发射机的核心光电子器件,光栅的设计和制作是决定器件性能的关键因素之一。目前,基于MOCVD设备的材料外延技术趋于稳定,高速器件封装技术也已经成熟,满足DWDM需求的DFB光栅的加工渐渐成为进一步降低成本的一个瓶颈。本文利用纳米压印技术制作DFB激光器光栅。结果表明,利用纳米压印技术制作出来的DFB激光器性能不逊于用EBL直接制作出的高性能激光器,不仅可以满足DWDM系统的要求,而且还具有生产效率高、成本低的优点。 展开更多
关键词 DFB激光器 纳米压印 DWDM 光通信
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铌酸锂光波导制作工艺进展 被引量:3
6
作者 赵明璐 王定理 马卫东 《光通信研究》 北大核心 2012年第2期35-38,共4页
文章综述了几种常用的铌酸锂波导的制作工艺,包括表面外扩散、金属内扩散、离子交换和质子交换,并分析、比较和总结了在不同工艺制作的条件下对铌酸锂光波导的性能造成的不同影响。目前,获得高质量光波导的主要途径是Ti扩散和质子交换... 文章综述了几种常用的铌酸锂波导的制作工艺,包括表面外扩散、金属内扩散、离子交换和质子交换,并分析、比较和总结了在不同工艺制作的条件下对铌酸锂光波导的性能造成的不同影响。目前,获得高质量光波导的主要途径是Ti扩散和质子交换。同时,文章对逐渐建立起的铌酸锂波导光学特性和结构特性之间的理论关系也进行了介绍。 展开更多
关键词 铌酸锂 光波导 工艺
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MOCVD实现InGaAsP波导对接生长的研究
7
作者 张瑞康 董雷 +4 位作者 余永林 王定理 张靖 陈磊 江山 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1177-1179,共3页
采用低压MOCVD技术,通过对接界面和对接工艺的优化,获得了高质量的InGaAsP材料构成的对接波导,测量得到的对接波导光学损耗为7cm-1,说明该技术可以用来制作高质量的光电子集成器件.
关键词 MOCVD 对接生长 波导
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钠紫青铜NaMo_6O_(17)的热电势研究
8
作者 肖清明 王定理 +4 位作者 汤五丰 石兢 赵同云 田明亮 田德诚 《武汉大学学报(自然科学版)》 CSCD 1999年第3期339-343,共5页
报道了在 10~300 K 温度范围内,对准二维电荷密度波导体 Na Mo6 O17紫青铜热电势的测量结果. 在80 K 附近, Na Mo6 O17 的热电势发生突变是该物质存在 Peierls 相变的又一个实验例证. 温度高... 报道了在 10~300 K 温度范围内,对准二维电荷密度波导体 Na Mo6 O17紫青铜热电势的测量结果. 在80 K 附近, Na Mo6 O17 的热电势发生突变是该物质存在 Peierls 相变的又一个实验例证. 温度高于80 K 时,热电势可以用一个经验公式: S= A T+ B/ T 来描述;而在温度低于 30 K 时,热电势可以拟合为: S= A T+ B T3 , 说明总的热电势均存在着来自载流子自身的热扩散和声子对载流子的散射两方面的贡献,但高温区和低温区声子对载流子的散射机制是不一样的. 总的热电势值揭示,无论 Peierls 相变前后,主要载流子均是电子. 上述这些实验结果与 K Mo6 O17的实验结果比较,有助于进一步加深对紫青铜结构、 Peierls 展开更多
关键词 钠紫青铜 热电势 PEIERLS相变 电荷密度波
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超辐射发光管端面AR膜的设计与制备
9
作者 常进 张军 +6 位作者 王定理 刘应军 甘毅 李林松 黄晓东 刘涛 邬江帆 《光学仪器》 2004年第2期51-54,共4页
在中心波长1310nm的InGaAsP半导体激光器端面设计并镀制了剩余反射率小于0.03%的三层减反射膜,得到了放大自发辐射波纹小于0.5dB的超辐射发光管。
关键词 宽带增透膜 超辐射发光管 极低剩余反射率 放大自发辐射 半导体激光器 三层减反射膜
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高速宽温度范围无致冷DFB半导体激光器
10
作者 骆文 王定理 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2010年第10期28-30,共3页
报道了一种高性能的1.3μm波长的应变多量子阱分布反馈半导体激光器,它具有高的直接调制速率、宽的无致冷工作温度范围以及可靠性能好的特点。通过对激光器有源区、波导层以及DFB光栅结构的综合优化,所制作的激光器具有低的阈值电流以... 报道了一种高性能的1.3μm波长的应变多量子阱分布反馈半导体激光器,它具有高的直接调制速率、宽的无致冷工作温度范围以及可靠性能好的特点。通过对激光器有源区、波导层以及DFB光栅结构的综合优化,所制作的激光器具有低的阈值电流以及高的量子效率,其室温直接调制速率达到16GHz,能实现-40℃~85℃范围内无致冷工作,其中值寿命超过200万小时。 展开更多
关键词 宽温度 无致冷 DFB 半导体激光器
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坚持科学发展观,努力构建和谐校园之我见 被引量:1
11
作者 王定理 《中国科教创新导刊》 2008年第15期217-218,共2页
构建和谐校园是建设社会主义和谐社会的重要组成部分,也是实现学校可持续发展.提高学校办学水平、社会公信力和广大教职工生活工作质量的必然选择,是学校可持续发展的内力之源。本文试从以人为本、拓展民主空间、规范管理,提高师资... 构建和谐校园是建设社会主义和谐社会的重要组成部分,也是实现学校可持续发展.提高学校办学水平、社会公信力和广大教职工生活工作质量的必然选择,是学校可持续发展的内力之源。本文试从以人为本、拓展民主空间、规范管理,提高师资素质等方面探究构建和谐校园的有效途径。 展开更多
关键词 科学发展观以人为本 民主管理 师德建设 统筹兼顾 和谐校园
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应用于吸收型甲烷传感器的1650nm DFB激光器的研制 被引量:3
12
作者 周宁 李林松 +5 位作者 曹明德 黄晓东 王定理 于斌 郑光辉 董雷 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期289-292,共4页
光学吸收法是一种工程上有效可行的检测痕量甲烷气体的方法,具有广泛地应用于构建煤矿坑道等场合的安全防护和报警系统的潜力。为实现针对甲烷气体1653nm吸收峰特性的单色光源,采用金属有机化合物化学气相沉积外延和纳米压印等技术手段... 光学吸收法是一种工程上有效可行的检测痕量甲烷气体的方法,具有广泛地应用于构建煤矿坑道等场合的安全防护和报警系统的潜力。为实现针对甲烷气体1653nm吸收峰特性的单色光源,采用金属有机化合物化学气相沉积外延和纳米压印等技术手段,从多量子阱外延材料设计和金属有机化合物化学气相沉生长到器件封装,研制了1653nm分布反馈激光器。器件性能达到了52dB边模抑制比、14.9%的外微分斜率效率、不大于12mA的阈值电流、匹配甲烷1653nm吸收带的0.116nm@20dB光谱线宽和稳定的光学与电学特性。基于该激光器,对体积分数为0.005~0.05的甲烷气体测试误差率不大于1.3%。结果表明,该器件能够应用于基于谐波法的痕量甲烷探测工程系统,且适应于批量制造。 展开更多
关键词 激光器 分布反馈激光器 纳米压印 甲烷痕量探测 谐波检测技术
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大功率低偏振度超辐射发光二极管的研制 被引量:2
13
作者 李吴皓 王定理 +3 位作者 李中坤 单静春 黄晓东 汤宝 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第2期217-222,共6页
超辐射发光二极管(SLED)是一种非相干性光源,具有激光器功率大,耦合效能高的优点,同时也有着频谱宽、相干长度短等特点,可以应于光学相干层析技术和波分复用技术等领域。未来的发展方向是更大的功率,更大的带宽以及更低的消光比。本论... 超辐射发光二极管(SLED)是一种非相干性光源,具有激光器功率大,耦合效能高的优点,同时也有着频谱宽、相干长度短等特点,可以应于光学相干层析技术和波分复用技术等领域。未来的发展方向是更大的功率,更大的带宽以及更低的消光比。本论文研究了1310 nm波段具有掩埋异质结构的高性能SLED芯片的设计与波导工艺制作,采取7°倾斜波导并镀上反射率小于0.1%的增透膜。经测试该SLED芯片具有大的饱和出光功率(超过20 mW),低的偏振消光比(低于0.5 dB),以及良好的光谱特性(3 dB光谱带宽大于50 nm,光谱纹波小于0.1 dB)。 展开更多
关键词 超辐射发光二极管 掩埋异质结 大功率 低偏振消光比 宽光谱
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高速直接调制激光器的研究进展
14
作者 曹丽 江山 +1 位作者 王定理 叶磊 《光通信研究》 北大核心 2004年第4期61-63,70,共4页
高速直接调制半导体激光器,是目前城域网和高速以太网的关键器件.文章综述了影响高速半导体激光器的调制带宽的各种因素,并探讨了目前所实现的提高半导体激光器调制带宽的各种方法.
关键词 直接调制 量子点 应变 P掺杂 寄生参量
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Synthesis and Crystal Structure of {4-[2-(9-Hexyl-9H-carbazol-3-yl)vinyl]phenyl} Dimethylamine
15
作者 宏里 徐文远 +2 位作者 王定理 张彬 吴宏 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第6期691-694,共4页
The title compound {4-[2-(9-hexyl-9H-carbazol-3-yl)vinyl]phenyl} dimethylamine has been synthesized by the well known Wittig reaction, and its crystal structure was determined by single-crystal X-ray diffraction ana... The title compound {4-[2-(9-hexyl-9H-carbazol-3-yl)vinyl]phenyl} dimethylamine has been synthesized by the well known Wittig reaction, and its crystal structure was determined by single-crystal X-ray diffraction analysis. It crystallizes in monoclinic, space group P21/c with a = 47.87(2), b = 10.222(4), c = 9.612(4)A, β = 92.401(9)°, V = 4699(3)A^3, Z = 8, C28H32N2, Mr = 396.56, Dc = 1.121 g/cm^3, F(000) = 1712 and μ(MoKa) = 0.065 mm^-1. The final R and wR are 0.0793 and 0.1983, respectively for 3524 observed reflections with Ⅰ〉 2σ(Ⅰ). In the title compound, the bond lengths are normal, and the crystal is stabilized by Van der Waals' forces. 展开更多
关键词 Wittig reaction crystal structure N-hexyl-3-formylcarbazole
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脉冲PIV测试仪及其在超辐射发光管热特性研究中的应用
16
作者 唐明星 王定理 +2 位作者 李传文 印新达 江山 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第8期49-50,共2页
针对超辐射发光管(SLED)的热特性,进行了仿真分析;通过研制的脉冲PIV测试仪对SLED发光区的温度进行了测试,验证了仿真分析结果。
关键词 超辐射发光管 热特性 脉冲P-I-V测试仪
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一种亚波长偏振分波/合波器的研制 被引量:9
17
作者 张亮 李承芳 +3 位作者 刘文 周立兵 吴国阳 王定理 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1048-1052,共5页
针对传统偏振分束器窄波段、窄角度范围的不足,研制了一种在宽波段宽角度范围内具有180°分光功能的偏振分束器/耦合器。该器件基于线栅偏振器和亚波长光栅结构原理设计,利用半导体工艺的刻蚀技术制作。利用一维金属线栅对入射电磁... 针对传统偏振分束器窄波段、窄角度范围的不足,研制了一种在宽波段宽角度范围内具有180°分光功能的偏振分束器/耦合器。该器件基于线栅偏振器和亚波长光栅结构原理设计,利用半导体工艺的刻蚀技术制作。利用一维金属线栅对入射电磁波的偏振响应和亚波长光栅仅存在零级衍射的特性,实现了较宽的通带宽度与可接受角度范围、极大的分光角度、高消光比和低插入损耗。实验测得透射、反射消光比均大于20 dB,插入损耗小于0.5dB。通过自行搭建的微结构测试平台,测量了p、s光的透射率、反射率随入射角度变化的曲线,和严格耦合波理论模拟结果符合。深入分析了制作中的过刻蚀对性能产生的影响。 展开更多
关键词 集成光学 偏振分束器 反应离子刻蚀 严格耦合波理论 亚波长光栅 消光比
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Sampled Grating DBR Lasers with 35nm Quasi-Continuous Tuning Range
18
作者 张瑞康 董雷 +4 位作者 王定理 张靖 陈磊 江山 余永林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2301-2303,共3页
We demonstrate a ridge waveguide sampled-grating distributed-feedback laser with quasi-continuous wavelength coverage over a 35nm range. The design is based on a 320nm-thick butt jointed passive waveguide optimized fo... We demonstrate a ridge waveguide sampled-grating distributed-feedback laser with quasi-continuous wavelength coverage over a 35nm range. The design is based on a 320nm-thick butt jointed passive waveguide optimized for carrier injection tuning. The butt-joint technology enable optimize the passive waveguide as well as active section. By tuning mirror sections,the laser provides 35nm tuning while maintaining 〉30dB sidemode suppression ratio. 展开更多
关键词 SGDBR diode laser tunable laser butt-joint regrowth
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中国画传统颜料的制作 被引量:6
19
作者 王定理 《美术研究》 CSSCI 北大核心 1991年第3期63-68,共6页
中国画传统的矿物质颜料在我国民族绘画方面起着极其重要的作用,已有二千多年的历史。它的特点是以我国出产的天然矿石为原料。根据不同的产地和不同的矿源,经过选择,研漂分解可制出绘画所需的深浅不同的色阶。所制出的颜色不管是在色... 中国画传统的矿物质颜料在我国民族绘画方面起着极其重要的作用,已有二千多年的历史。它的特点是以我国出产的天然矿石为原料。根据不同的产地和不同的矿源,经过选择,研漂分解可制出绘画所需的深浅不同的色阶。所制出的颜色不管是在色阶还是色相方面,色调都比较纯正、浑厚、艳而不俗。有光泽感,它不怕光照,不畏酸碱的腐蚀,即使是没于土内多年也不会影响颜色的艳丽,近些年所出土的墓室壁画就证明了这一点。 展开更多
关键词 中国画 颜料 墓室壁画 天然矿石 绘画 色阶 色相 光泽感 色调 矿物质
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1.3-μm uncooled 10 Gb/s directly modulated MQW AlGaInAs/InP laser diodes 被引量:1
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作者 王定理 周宁 +3 位作者 张军 刘宇 祝宁华 李林松 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第8期466-468,共3页
In this paper, we report a novel 1.3-μm uncooled AlGaInAs/InP multiple quantum well (MQW) ridge waveguide laser diodes. By optimizing the design of MQW structure and facet coatings, together with the application of... In this paper, we report a novel 1.3-μm uncooled AlGaInAs/InP multiple quantum well (MQW) ridge waveguide laser diodes. By optimizing the design of MQW structure and facet coatings, together with the application of reversed-mesa ridge waveguide (RM-RWG) structure, polyimide planarization, and lift-off processes technology, an uncooled 1.3-μm, 10-Gb/s directly modulated MQW ridge waveguide laser diode was successfully fabricated. The threshold current and the slope efficiency were 7 mA and 0.48 mW/mA, respectively. The directly modulated bandwidths of 11 and 9.2 GHz were achieved at room temperature and 80℃, respectively. 展开更多
关键词 Optical communication Optical communication equipment Optical waveguides Polyimides Semiconducting indium gallium arsenide Semiconductor quantum wells
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