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光导开关欧姆接触电阻率测量方法研究 被引量：1
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作者 许世峰 何晓雄 孙飞翔 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期929-933,共5页
光导开关对重掺杂半导体基底与多层金属电极形成的欧姆接触有很高的要求,欧姆接触的质量直接影响光导开关的效率、增益和开关速度等性能,因此准确地测量光导开关欧姆接触的参数非常重要。文章对适合光导开关的欧姆接触电阻率的测量方法... 光导开关对重掺杂半导体基底与多层金属电极形成的欧姆接触有很高的要求,欧姆接触的质量直接影响光导开关的效率、增益和开关速度等性能,因此准确地测量光导开关欧姆接触的参数非常重要。文章对适合光导开关的欧姆接触电阻率的测量方法进行了系统的归纳和整理,分析了各种测试方法的优点和局限性,明确了各测试方法的适用范围,对后续测试方法的改进提出了建议。 展开更多
关键词 光导开关 欧姆接触电阻率 矩形传输线模型 圆形传输线模型
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