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纳米级两维微位移工作台的参数测试 被引量：1
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作者 崔岩梅 周自力 曹航 《光学技术》 CAS CSCD 2002年第5期447-448,451,共3页
为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差 ,介绍了其机械结构及工作原理 ,进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验 ,实验结果表明 ,工作台的定位准确度较高 ,运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正 。
关键词 两维微位移工作台 定位准确度 直线度 重复性
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