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亚微米器件制造技术的发展动态 被引量:1
1
作者 范焕章 黎想 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期8-10,18,共4页
主要从光刻、隔离。
关键词 亚微米器件 光刻 隔离 金属互连线 制造技术
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扩展电阻法测量亚微米器件的结深和杂质分布
2
作者 张安康 李文渊 +1 位作者 王健华 陈明华 《电子器件》 CAS 1998年第3期141-148,共8页
本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法,叙述了扩展电阻法测量结深的原理。
关键词 结深 扩展电阻 杂质分布 VLSI 亚微米器件
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适合VLSI/ULSI的深亚微米MOS器件模型BSIM2的研究 被引量:1
3
作者 陈勇 肖兵 杨漠华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期176-180,共5页
论述了深亚微米MOS器件模型BSIM2。从强反型区、亚阈区、过渡区及输出电阻等几方面,以物理概念为基础进行了较详细分析,并与国内1μm工艺的nMOS测量数据进行了比较。
关键词 MOS器件 器件物理 器件模型 亚微米器件
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亚微米器件的一些物理问题 被引量:1
4
作者 方兆烓 彭英才 《物理》 CAS 北大核心 1990年第12期709-713,共5页
要建造功能比现有的更强大的超级计算机、新型雷达,或在微波段以上甚高频率下工作的通讯卫星,就需要超高速的半导体器件.亚微米器件就是为了适应这种需要而发展起来的.在亚微米器件中,由于空间上的短尺度与时间上的瞬变,各种物理... 要建造功能比现有的更强大的超级计算机、新型雷达,或在微波段以上甚高频率下工作的通讯卫星,就需要超高速的半导体器件.亚微米器件就是为了适应这种需要而发展起来的.在亚微米器件中,由于空间上的短尺度与时间上的瞬变,各种物理标度之间的相互关系的改变,有可能出现各种新现象和新问题.本文概要介绍这一新兴领域十几年来的物理研究进展. 展开更多
关键词 亚微米器件 电子电路 微型化
原文传递
基于Taurus Workbench的亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化 被引量:1
5
作者 徐永勋 李惠军 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期196-199,共4页
 简要介绍了集成电路虚拟工厂系统TaurusWorkbench。对亚微米n沟MOS工艺的特点进行了分析。在TaurusWorkbench环境下进行亚微米n沟MOS器件关键工艺参数的优化,优化结果印证了新工艺条件对器件性能的改善。
关键词 集成电路 虚拟工厂 亚微米器件 MOS工艺 工艺优化 n沟MOS器件 TaurusWorkbench
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亚微米半导体器件模拟方法的探索 被引量:1
6
作者 王明网 魏同立 《微电子学》 CAS CSCD 1995年第2期55-61,共7页
本文综述了近十年来半导体器件模拟的发展概况,阐述了漂移扩散模型(DDM)、流体动力学模型(HDM)、玻耳兹曼模型(BTM)、全量子模型(QTM)的各自适用范围,概括了玻耳兹曼的一些新解法,HDM,BTM适合于亚微米半... 本文综述了近十年来半导体器件模拟的发展概况,阐述了漂移扩散模型(DDM)、流体动力学模型(HDM)、玻耳兹曼模型(BTM)、全量子模型(QTM)的各自适用范围,概括了玻耳兹曼的一些新解法,HDM,BTM适合于亚微米半导体器件的模拟。 展开更多
关键词 CAD 亚微米器件 半导体器件
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适合ULSI的深亚微米SOIMOSFET研究 被引量:1
7
作者 颜志英 黄敞 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2001年第4期16-18,29,共4页
文章通过对 SOIMOSFET进行大量的模拟、计算,提出了一个新的 SOIMOSFET模型,它计入了影响深亚微米器件工作的各种二级物理效应,该模型同时适用于数字电路和模拟电路的设计,模型计算结果与实际测试结果较吻合。
关键词 SOIMOSFET ULSI 亚微米器件 CMOS器件
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亚微米CMOS结构光学交叉互连电路芯片的设计
8
作者 刘三清 温金桃 应建华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期200-203,共4页
同单路光接收/发送电路系统相比,采用单片集成的多路交叉互连接收/发送系统可实现大容量信息交换和高度复杂的信息处理。给出了与10×10阵列多量子阱(MQW)器件芯片倒扣连接的接收/发送交叉互连电路的设计,芯片电路采... 同单路光接收/发送电路系统相比,采用单片集成的多路交叉互连接收/发送系统可实现大容量信息交换和高度复杂的信息处理。给出了与10×10阵列多量子阱(MQW)器件芯片倒扣连接的接收/发送交叉互连电路的设计,芯片电路采用0.35/0.5μm设计规则、三层金属布线CMOS结构,在2mm×2mm芯片上,可完成16路接收/发送及16×16信号交叉互连的功能。 展开更多
关键词 亚微米器件 CMOS 交叉互连 结构
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亚微米CMOS阈值电压控制研究
9
作者 余山 章定康 黄敞 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期35-38,共4页
由于亚微米器件的短沟道效应,引起器件的阈值电压下降。本文的研究表明,对器件的沟道采取多次杂质注入掺杂技术,可有效地克服短沟道效应与热载流子效应,即使在沟道长度为0.5μm时,器件仍显示出良好的。
关键词 亚微米器件 阈值电压 控制
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亚微米高速器件中的新型互连材料
10
作者 章秉璋 《电子材料(机电部)》 1995年第9期17-18,共2页
关键词 微米高速器件 新型互连材料 集成电路
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Si亚微米MESFET的Monte Carlo法模拟
11
作者 赵鸿麟 战长青 潘姬 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期1-7,共7页
本文是继用MonteCarlo法模拟GaAs亚微米器件后,进一步用该法模拟Si亚微米MESFET。文中除了处理Si和GaAs散射机制不同外,在模拟方法上有重要进步:用FFT(FastFourierTransforma... 本文是继用MonteCarlo法模拟GaAs亚微米器件后,进一步用该法模拟Si亚微米MESFET。文中除了处理Si和GaAs散射机制不同外,在模拟方法上有重要进步:用FFT(FastFourierTransformation)代替迭代法,加速解Poisson方程过程;用快速自散射代替常规自散射,压缩计算无用自散射时间。这些进步相当程度地克服MonteCarlo微粒模拟法费机时的固有缺点。模拟得到的形象且合理的结果,给出亚微米栅长时SiMESFET的性能。 展开更多
关键词 亚微米器件 蒙特卡罗法 MESFET
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Si亚微米MOSFET蒙特卡罗模拟中散射机制的研究
12
作者 董立亭 《大理学院学报(综合版)》 CAS 2006年第12期48-51,共4页
讨论了用蒙特卡罗法模拟半导Si内电子输运现象的散射机制,探讨并确定自由飞行时间的自散射方法,模拟电子在不同高场下的输运过程,并分析了速度过冲效应产生的原因。
关键词 MONTE CARLO方法 自由飞行时间 散射机制 微米半导体器件
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Si亚微米MOSFET Monte carlo模拟中散射机制的研究
13
作者 董立亭 《甘肃联合大学学报(自然科学版)》 2007年第1期40-43,48,共5页
讨论了用Monte carlo法模拟半导Si内电子输运现象的散射机制,探讨并确定自由飞行时间的自散射方法,模拟电子在不同高场下的输运过程,并分析了速度过冲效应产生的原因.
关键词 MONTE CARLO方法 自由飞行时间 散射机制 微米半导体器件
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半导体器件流体动力学模型研究
14
作者 那斯尔江.吐尔逊 吴金 +3 位作者 杨廉峰 刘其贵 夏君 魏同立 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1999年第5期52-56,共5页
主要讨论了亚微米半导体器件模拟的流体动力学模型方程的建立过程.流体动力学模型由玻尔兹曼传输模型方程的矩推导而来, 对玻尔兹曼传输模型采用不同的物理假设和数学近似, 可以得到不同形式的流体动力学模型.同时, 对各种不同形... 主要讨论了亚微米半导体器件模拟的流体动力学模型方程的建立过程.流体动力学模型由玻尔兹曼传输模型方程的矩推导而来, 对玻尔兹曼传输模型采用不同的物理假设和数学近似, 可以得到不同形式的流体动力学模型.同时, 对各种不同形式的流体动力学模型的相互转换关系进行了系统分析, 给出了半导体器件各种输运模型的适用范围等特性, 为通用亚微米半导体器件模拟软件的模型选择提供了参考依据. 展开更多
关键词 微米半导体器件 流体动力学模型 弛豫时间
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Direct Tunneling Currents Through Gate Dielectrics in Deep Submicron MOSFETs 被引量:2
15
作者 侯永田 李名复 金鹰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期449-454,共6页
A direct tunneling model through gate dielectric s in CMOS devices in the frame of WKB approximation is reported.In the model,an im proved one-band effective mass approximation is used for the hole quantization, wher... A direct tunneling model through gate dielectric s in CMOS devices in the frame of WKB approximation is reported.In the model,an im proved one-band effective mass approximation is used for the hole quantization, where valence band mixing is taken into account.By comparing to the experiments, the model is demonstrated to be applicable to both electron and hole tunneling c urrents in CMOS devices.The effect of the dispersion in oxide energy gap on the tunneling current is also studied.This model can be further extended to study th e direct tunneling current in future high-k materials. 展开更多
关键词 MOSFET direct tunneling current quantum effec t gate dielectrics
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The System Design of Semiconductor Device Simulator
16
作者 杨廉峰 吴金 +2 位作者 夏君 刘其贵 魏同立 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 1999年第2期24-29,共6页
This paper studies the numerical simulation for semiconductor devices and discusses the software design of the simulation system. Our focus is on the deep submicron device simulation for BJT, MOSFET, heterojunction bi... This paper studies the numerical simulation for semiconductor devices and discusses the software design of the simulation system. Our focus is on the deep submicron device simulation for BJT, MOSFET, heterojunction bipolar transistors (HBT), etc. So the object oriented technology for software design and its realization is used to make the system easy to implement, maintain and extend. Besides the discussion of simulation and software system design, this paper introduces a device simulator SMDS and its parallel extension under local network environment using CORBA technology. 展开更多
关键词 device simulation submicron device object oriented technology parallel simulation
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Using 3D TCAD Simulation to Study Charge Collection of a p-n Junction in a 0.18μm Bulk Process
17
作者 梁斌 陈书明 刘必慰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1692-1697,共6页
Single event transient of a real p-n junction in a 0.18μm bulk process is studied by 3D TCAD simulation. The impact of voltage, temperature, substrate concentration, and LET on SET is studied. Our simulation results ... Single event transient of a real p-n junction in a 0.18μm bulk process is studied by 3D TCAD simulation. The impact of voltage, temperature, substrate concentration, and LET on SET is studied. Our simulation results demonstrate that biases in the range 1.62 to 1.98V influence DSET current shape greatly and total collected charge weakly. Peak current and charge collection within 2ns decreases as temperature increases,and temperature has a stronger influence on SET currents than on total charge. Typical variation of substrate concentration in modern VDSM processes has a negligible effect on SEEs. Both peak current and total collection charge increases as LET increases. 展开更多
关键词 charge collection p-n junction very deep sub-micro 3D device simulation RADIATION
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Ⅰ线光刻的进展
18
作者 宋湘云 《微电子学》 CAS CSCD 1992年第6期57-58,共2页
I线波长为365μm。I线光刻具有分辨率高、焦深比g线深、光刻简单和价廉物美等许多优点。0.45的数值孔径透镜和专门设计的光刻胶系统的应用,使I线光刻实现了0.5μm特征尺寸的亚微米光刻,而且曝光量比g线获得的曝光量高得多。
关键词 亚微米器件 光刻 半导体器件
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旋转电子学的应用
19
作者 草木 《电子产品世界》 2003年第10A期18-18,53,共2页
旋转电子学寻求的是如何利用电子的旋转,除了它们的电荷之外,还可以制作计算、通信和数据存储用的特大功能器件。
关键词 旋转电子学 存储器件 亚微米器件 核存储器 磁性隧道结 磁性半导体
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