期刊文献+
共找到163篇文章
< 1 2 9 >
每页显示 20 50 100
基于粗糙介质薄膜的高性能MEMS红外光源研究
1
作者 郭星辰 王翊 +3 位作者 周宏 刘延祥 陆仲明 李铁 《功能材料与器件学报》 CAS 2024年第4期190-196,共7页
目前,工业领域对于气体监测的需求日益增长,在各种气体传感器中,红外传感器由于其高精度、高选择性的优势得到了广泛开发应用。红外光源是红外传感器中的关键元件,其发射率决定了传感器的性能,传统的发射率提高方法主要为制作表面微结... 目前,工业领域对于气体监测的需求日益增长,在各种气体传感器中,红外传感器由于其高精度、高选择性的优势得到了广泛开发应用。红外光源是红外传感器中的关键元件,其发射率决定了传感器的性能,传统的发射率提高方法主要为制作表面微结构和添加高吸收率材料等。然而,这些方法会导致成本增加、制造复杂度提高。我们提出了一种新型MEMS红外光源,使用粗糙介质薄膜增强红外吸收并降低热传导来提高发射率。粗糙介质薄膜结构通过简单的硬模工艺制作,该方法成本低并与传统的红外光源制造兼容,制造的红外光源在2-20μm内可以达到99%以上的发射率。该红外光源的辐射区面积为1.4 mm×1.5 mm,在425℃的工作温度下功率密度为118 mW/mm^(2),且在15 Hz的工作频率下有全调制深度。这些结果表明,这种红外光源在红外气体传感器中的应用具有巨大潜力。 展开更多
关键词 微机电系统 红外光源 红外气体传感器 粗糙介质薄膜
原文传递
现代介质薄膜 被引量:2
2
作者 曲喜新 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1996年第4期1-6,共6页
介质薄膜是一类重要的电子薄膜。现代常用的介质薄膜种类很多,按其成分可分为无机薄膜、有机薄膜和复合薄膜三类。同一种介质薄膜当制造工艺略有不同时,就会出现性能差别较大的结果,且随着膜厚的减小,这种现象表现得越来越明显。现... 介质薄膜是一类重要的电子薄膜。现代常用的介质薄膜种类很多,按其成分可分为无机薄膜、有机薄膜和复合薄膜三类。同一种介质薄膜当制造工艺略有不同时,就会出现性能差别较大的结果,且随着膜厚的减小,这种现象表现得越来越明显。现在介质薄膜的进展可归纳为:(1)成膜技术的提高,其工艺特点是精细、程控和准确;(2)薄膜下限厚度的减小,如陶瓷薄膜已降到1μm,大量生产的高分子聚合物薄膜已降至100nm;(3)涌现出了不少新型介质薄膜。 展开更多
关键词 介质薄膜 无机介质薄膜 有机介质薄膜 电子薄膜
在线阅读 下载PDF
电容器用介质薄膜多物理场下电导测量实验平台
3
作者 赵子轩 佟宇晶 +1 位作者 张心桐 屠幼萍 《电力电容器与无功补偿》 2024年第1期95-101,共7页
金属化膜电容器具有更高的工作电压和储能密度,现阶段广泛应用于新能源电力系统中。然而这些应用场景对金属化膜电容器在复杂环境下的性能提出了更高的要求。其中介质薄膜作为核心元件,其电学性能直接关系到电容器的耐压程度和储能密度... 金属化膜电容器具有更高的工作电压和储能密度,现阶段广泛应用于新能源电力系统中。然而这些应用场景对金属化膜电容器在复杂环境下的性能提出了更高的要求。其中介质薄膜作为核心元件,其电学性能直接关系到电容器的耐压程度和储能密度等重要参数,现有测量标准仅对室温下的介质薄膜进行电导测量,缺乏复杂环境对介质薄膜影响的测量方法。本文针对换流阀中电容器的应用场景,搭建多物理场下介质薄膜电导测量实验平台,模拟并扩大工况的环境范围,对介质薄膜施加电、热、力环境并准确测量泄漏电流。研究结果可以为介质薄膜改性提供指导方向。 展开更多
关键词 金属化膜电容器 介质薄膜 多物理场 电导测量
在线阅读 下载PDF
界面黏接对软电介质薄膜临界击穿场强影响的试验研究
4
作者 邵一哲 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期140-147,共8页
软电介质薄膜因模量低、可大变形、适应性强等特点,被广泛应用于电气和电子系统中。但由于材料的介电常数较低,通常需要在较高的电场环境下服役。在高电场环境下,软电介质薄膜易产生失稳和电击穿破坏,影响着材料的应用范围和稳定性。本... 软电介质薄膜因模量低、可大变形、适应性强等特点,被广泛应用于电气和电子系统中。但由于材料的介电常数较低,通常需要在较高的电场环境下服役。在高电场环境下,软电介质薄膜易产生失稳和电击穿破坏,影响着材料的应用范围和稳定性。本研究针对电极对软电介质薄膜有无约束两种情况对此类器件的稳定性展开了研究:首先定量描述了电极对电介质无约束时,电压加卸载过程中失稳形貌的演化规律;其次讨论了例如氯化锂水凝胶等软电极对薄膜力电失稳的抑制,并利用化学黏接的方式增强水凝胶电极对电介质薄膜的约束,提升了电介质薄膜的临界击穿场强。 展开更多
关键词 软电介质薄膜 表面失稳 界面黏接 电场击穿强度
在线阅读 下载PDF
高功率激光对光学介质薄膜破坏机理的研究进展 被引量:9
5
作者 倪晓武 陆建 +3 位作者 贺安之 王平秋 马孜 周九林 《激光技术》 CAS CSCD 1994年第6期348-351,共4页
本文综述了高功率激光对光学介质薄膜破坏的几种机理,着重阐述了激光等离子体及其扩展时产生的冲击波对光学介质薄膜的破坏作用。
关键词 高功率激光 光学介质薄膜 激光 等离子体
在线阅读 下载PDF
介质薄膜的透射光谱测量及其光学参数的分析 被引量:14
6
作者 唐沪军 沈杰 +3 位作者 陈华仙 杨锡良 顾元壮 章壮健 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第6期417-427,共11页
介绍介质薄膜透射光谱的测量以及基于分析薄膜透射光谱的计算薄膜光学参数的方法。对制备在玻璃基板上的二氧化钛、二氧化硅和氧化锌薄膜进行了可见光谱区的透射比测量,并用包络线方法和最优化方法对这些透明薄膜的光学参数进行了计算... 介绍介质薄膜透射光谱的测量以及基于分析薄膜透射光谱的计算薄膜光学参数的方法。对制备在玻璃基板上的二氧化钛、二氧化硅和氧化锌薄膜进行了可见光谱区的透射比测量,并用包络线方法和最优化方法对这些透明薄膜的光学参数进行了计算和分析。着重讨论了最优化方法在分析薄膜光学参数中的应用及其误差分析。此外,还对包络线方法和最优化方法进行了比较。 展开更多
关键词 介质薄膜 透射光谱 光学参数 薄膜
在线阅读 下载PDF
氮化硅介质薄膜内应力的实验研究 被引量:17
7
作者 于映 陈跃 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期51-54,共4页
研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅介质薄膜的内应力。采用钠光平面干涉测量了氮化硅薄膜内应力 ,通过改变薄膜沉积时的工艺参数 ,考察了反应气体流量比、沉积温度、射频功率密度等因素对氮化硅薄膜内应力的影响。在此基础上 ,对氮... 研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅介质薄膜的内应力。采用钠光平面干涉测量了氮化硅薄膜内应力 ,通过改变薄膜沉积时的工艺参数 ,考察了反应气体流量比、沉积温度、射频功率密度等因素对氮化硅薄膜内应力的影响。在此基础上 ,对氮化硅介质薄膜本征应力的形成机制进行了分析讨论。 展开更多
关键词 内应力 氮化硅薄膜 化学气相沉积 形成机制 介质薄膜 等离子体
在线阅读 下载PDF
电镀及化学镀磁记录介质薄膜的最新进展 被引量:3
8
作者 安茂忠 杨哲龙 +1 位作者 张景双 屠振密 《电化学》 CAS CSCD 1997年第1期92-98,共7页
本文综述了近年来国外电镀及化学镀磁记录介质薄膜的最新研究进展、电镀及化学镀镀液组成、工艺条件及其对薄膜性能的影响、存在问题及发展方向等.磁记录介质薄膜的制备,过去一直采用溅射方法,近年来国外开展了电镀及化学镀方法制备... 本文综述了近年来国外电镀及化学镀磁记录介质薄膜的最新研究进展、电镀及化学镀镀液组成、工艺条件及其对薄膜性能的影响、存在问题及发展方向等.磁记录介质薄膜的制备,过去一直采用溅射方法,近年来国外开展了电镀及化学镀方法制备的研究.电镀方法包括水溶液电镀(如:Ni-Fe、Fe-Co合金等)和非水溶液电镀(如Tb-Fe、Nd-Fe、Tb-Fe-Co合金等),化学镀则是在Ni-P、Co-P合金的基础上,通过添加其它金属盐,得到磁记录介质薄膜,如:Co-Ni-P、Co-W-P、Co-Mn-P。 展开更多
关键词 电镀 化学镀 磁记录介质薄膜
在线阅读 下载PDF
激光输出特性对介质薄膜损伤的影响 被引量:2
9
作者 贺洪波 范正修 +3 位作者 范瑞瑛 李庆国 邵建达 胡海洋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B11期98-102,共5页
采用输出特性不同的几种激光器测量了多种介质光学薄膜的破坏阈值 ,并对典型的破坏过程进行显微分析。研究了激光输出特性的不同对薄膜损伤效果的影响 :在相同能量输出的条件下 ,脉冲激光比连续激光更容易形成有效的破坏 ;
关键词 激光输出特性 介质薄膜 破坏阈值
在线阅读 下载PDF
低介电常数介质薄膜的研究进展 被引量:6
10
作者 王娟 张长瑞 冯坚 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1001-1011,共11页
用低介电常数介质薄膜作金属线间和层间介质可以降低超大规模集成电路(ULSI)的互连延迟、串扰和能耗。从介质极化的原理出发,揭示了开发低介电常数介质薄膜的可能途径;综述了低介电常数介质薄膜的制备方法、结构与性能表征、工艺兼容性... 用低介电常数介质薄膜作金属线间和层间介质可以降低超大规模集成电路(ULSI)的互连延迟、串扰和能耗。从介质极化的原理出发,揭示了开发低介电常数介质薄膜的可能途径;综述了低介电常数介质薄膜的制备方法、结构与性能表征、工艺兼容性等领域的最新进展。 展开更多
关键词 低介电常数介质薄膜 多孔薄膜 SSQ基介质 纳米多孔SiO2薄膜 含氟氧化硅(SiOF)薄膜 含碳氧化硅(SiOCH)薄膜 有机聚合物介质
在线阅读 下载PDF
纳米厚度非透明介质薄膜的测量 被引量:2
11
作者 缪建伟 崔明启 +1 位作者 唐鄂生 修立松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第1期21-25,共5页
本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法,给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法(下降法)计算得到的膜厚结果,并与台阶仪测试结果进行了比较。
关键词 椭偏仪 台阶仪 纳米厚度 介质薄膜
在线阅读 下载PDF
Ag-Nd_2O_3复合介质薄膜的光吸收特性研究 被引量:2
12
作者 刘盛 张琦锋 +1 位作者 许北雪 吴锦雷 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期85-88,共4页
在真空中用蒸发沉积的方法制备了埋藏有金属Ag纳米微粒的稀土氧化物复合介质薄膜Ag Nd2 O3 。通过对这种薄膜的透射电子显微镜观察和光吸收实验研究 ,发现在相同Nd2 O3 的薄膜上沉积数量和大小不同的Ag纳米粒子 ,Ag Nd2 O3 复合介质薄... 在真空中用蒸发沉积的方法制备了埋藏有金属Ag纳米微粒的稀土氧化物复合介质薄膜Ag Nd2 O3 。通过对这种薄膜的透射电子显微镜观察和光吸收实验研究 ,发现在相同Nd2 O3 的薄膜上沉积数量和大小不同的Ag纳米粒子 ,Ag Nd2 O3 复合介质薄膜的光吸收特性随Ag粒子尺寸和体积分数的增大 ,吸收峰向长波方向移动。而且在光波长 310~ 12 0 0nm区域内 ,吸收比随Ag粒子尺寸和体积分数的增加而增加。分析表明Nd2 O3 与Ag粒子之间的相互作用是影响吸收峰位置和吸收比大小的主要原因 。 展开更多
关键词 Ag-Nd2O3复合介质薄膜 纳米微粒 氧化钕 光吸收 稀土氧化物薄膜
在线阅读 下载PDF
电镀化学镀在磁记录介质薄膜制备中的应用 被引量:9
13
作者 安茂忠 张景双 +1 位作者 杨哲龙 屠振密 《电子工艺技术》 1997年第1期26-29,33,共5页
综述了近年来国外电镀及化学镀磁记录介质薄膜的最新研究动向,介绍了电镀及化学镀镀液组成、工艺条件及其对薄膜性能的影响,指出其存在问题。
关键词 电镀 化学镀 磁记录介质薄膜
在线阅读 下载PDF
固态介质薄膜的电击穿场强 被引量:4
14
作者 曲喜新 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1999年第6期27-30,33,共5页
对于微电子和光电子元器件及其集成电路来讲,固态介质薄膜是一类重要的基础材料。它们的电击穿场强是一个特殊的特性参数。本文从理论上论述了这类薄膜的电击穿场强,并概述了现在所用的测试方法和多位研究者得出的测试结果。此外, ... 对于微电子和光电子元器件及其集成电路来讲,固态介质薄膜是一类重要的基础材料。它们的电击穿场强是一个特殊的特性参数。本文从理论上论述了这类薄膜的电击穿场强,并概述了现在所用的测试方法和多位研究者得出的测试结果。此外, 文中还分类提出了这类薄膜内的弱点类型。 展开更多
关键词 固态介质薄膜 电击穿场强 基础材料
在线阅读 下载PDF
现代有机介质薄膜 被引量:1
15
作者 曲喜新 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1993年第1期1-10,共10页
随着高分子聚合物科学与技术的发展,电容器用的有机介质薄膜获得了十分显著的进展。本文扼要系统地论述这些进展。
关键词 介质电容器 介质薄膜 电容器
在线阅读 下载PDF
脉冲激光输出模式对介质薄膜损伤的影响
16
作者 曹华梁 程祖海 +2 位作者 叶克飞 余亮英 陈佳元 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期558-560,共3页
采用单横模(TEM01)和多模横向激励高气压(TEA)脉冲二氧化碳激光器和不同焦距的透镜对10.6μm的增透膜进行了破坏实验,对破坏样品进行了显微分析,研究了不同激光模式和不同焦距透镜对薄膜破坏的影响。实验结果表明,在短焦距透镜聚焦时,... 采用单横模(TEM01)和多模横向激励高气压(TEA)脉冲二氧化碳激光器和不同焦距的透镜对10.6μm的增透膜进行了破坏实验,对破坏样品进行了显微分析,研究了不同激光模式和不同焦距透镜对薄膜破坏的影响。实验结果表明,在短焦距透镜聚焦时,相同能量密度的单横模激光脉冲焦距前比焦距后更容易造成薄膜的损伤,破坏阈值相差5 J/cm2;使用长焦距透镜聚焦时,在单模激光脉冲和多模激光脉冲幅照下薄膜的损伤阈值基本相同,但比使用短焦距单模激光测量到的损伤阈值高。 展开更多
关键词 激光损伤^+ 介质薄膜 破坏阈值 激光模式
在线阅读 下载PDF
高能CO_2激光腔镜高反介质薄膜的传输特性
17
作者 彭玉峰 程祖海 +3 位作者 崔金玲 张毅 张虎 余文峰 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期555-557,共3页
为了获得适用于高能CO2激光器的高抗破坏阈值高反薄膜,以10.6μm高反膜ZnSe/YbF3,PbTe/BaF2膜系为例,数值模拟了激光在高反介质膜中的传输的场特性;给出了激光在多层介质膜中的场强分布、温度场分布及热应力分布。结果表明硅镜基体上的P... 为了获得适用于高能CO2激光器的高抗破坏阈值高反薄膜,以10.6μm高反膜ZnSe/YbF3,PbTe/BaF2膜系为例,数值模拟了激光在高反介质膜中的传输的场特性;给出了激光在多层介质膜中的场强分布、温度场分布及热应力分布。结果表明硅镜基体上的PbTe/BaF2膜系所需膜层厚度小、膜层数少,反射率可高达99.98%。 展开更多
关键词 二氧化碳激光器 反射镜 介质薄膜 激光损伤^+
在线阅读 下载PDF
光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子的散射角分布
18
作者 巩蕾 吴振森 +3 位作者 高明 王利国 李亚清 王谦 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期205-211,共7页
采用时域有限差分法研究了多因素对光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子微分散射截面随散射角的变化规律.对光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子复合散射进行建模,并针对典型半空间问题,对总散射场进行分解并对相应的场相位进行求解,给出网格剖分规... 采用时域有限差分法研究了多因素对光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子微分散射截面随散射角的变化规律.对光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子复合散射进行建模,并针对典型半空间问题,对总散射场进行分解并对相应的场相位进行求解,给出网格剖分规则.将数值结果退化为冗余球体粒子,与MOM (Method of Moments)矩量法进行详细比较,验证程序的有效性.分析P偏振光入射下,入射角、长短轴轴比和镶嵌高度h对Cu和SiO_2镶嵌粒子微分散射截面随散射角的影响规律.结果表明:微分散射截面的最大峰值出现在入射角的镜面值角度;在镜向散射区域附近,对于扁平回转椭球体粒子微分散射截面随冗余节瘤粒子轴比的增大而减小,扁长回转椭球粒子的规律相反;在[-90°,-60°]散射角区域,微分散射截面与冗余节瘤粒子镶嵌高度成正比,镶嵌高度对介质粒子散射特性影响更大. 展开更多
关键词 光散射 散射角分布 时域有限差分方法 光学介质薄膜 冗余节瘤粒子
在线阅读 下载PDF
一种测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法 被引量:1
19
作者 张淑娥 喻星源 《光通信研究》 北大核心 2020年第2期50-56,共7页
针对谐振腔传感器内壁水膜和盐垢会降低湿度测量精度的问题,文章提出一种用于测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法。此方法基于介质微扰法的原理,使用双曲余弦开缝形谐振腔作为传感器,工作于TE111模式来测量介质薄膜厚度。以水膜为例,理... 针对谐振腔传感器内壁水膜和盐垢会降低湿度测量精度的问题,文章提出一种用于测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法。此方法基于介质微扰法的原理,使用双曲余弦开缝形谐振腔作为传感器,工作于TE111模式来测量介质薄膜厚度。以水膜为例,理论推导了谐振腔水膜厚度与谐振频率的关系,并通过仿真分析了TE111模式准确测量水膜的可行性;采用矢量场方程的方法建立了TE111模式下谐振腔端面电流密度分布线的数学模型,并设计了双曲余弦开缝形谐振腔传感器。仿真结果表明:该谐振腔的电磁特性、辐射特性和流动特性均良好,电磁泄露率基本为0,取样误差为-1.25%,符合设计要求;可准确测量水膜、盐垢、油膜和污垢等介质薄膜的厚度,且它们的膜厚均与谐振频率偏移量呈线性关系,与理论相符。 展开更多
关键词 介质微扰法 圆柱形谐振腔 介质薄膜厚度 水膜厚度 TE111模式
在线阅读 下载PDF
纳米稀土-介质薄膜光电发射光谱和能带结构
20
作者 刘盛 张琦锋 +1 位作者 许北雪 吴锦雷 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第3期213-217,共5页
用真空蒸发沉积的方法制备了纳米稀土(La、Nd、Sm)粒子-BaO介质薄膜.研究表明薄膜的光电发射光谱响应阈值受纳米稀土粒子形状和大小的影响,球形纳米稀土(Sm)粒子-BaO介质薄膜的光谱响应阈值波长为720nm,条状纳米稀土(La和Nd)粒子-BaO介... 用真空蒸发沉积的方法制备了纳米稀土(La、Nd、Sm)粒子-BaO介质薄膜.研究表明薄膜的光电发射光谱响应阈值受纳米稀土粒子形状和大小的影响,球形纳米稀土(Sm)粒子-BaO介质薄膜的光谱响应阈值波长为720nm,条状纳米稀土(La和Nd)粒子-BaO介质薄膜阈值波长分别为650nm和660nm.研究得到纳米稀土粒子-介质薄膜等效界面位垒高度在1.7~2.0eV之间.由于纳米稀土粒子与BaO介质各自逸出功不同,当构成薄膜后使得纳米粒子周围的空间电荷分布发生变化,纳米粒子周围的能带发生弯曲. 展开更多
关键词 光电发射光谱 光谱响应 能带结构 稀土元素 纳米粒子 氧化钡 介质薄膜 半导体 热阴极 掺杂
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 9 下一页 到第
使用帮助 返回顶部