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光子计数探测器CT脂肪定量准确性和稳定性的体模研究 被引量：1
1
作者 常蕊 范婧 +1 位作者 张旭 杨文洁 《国际医学放射学杂志》 2024年第6期636-641,共6页
目的 旨在探讨光子计数探测器(PCD)-CT在不同扫描方案下进行脂肪定量的准确性及辐射剂量水平。方法 构建11个不同脂肪浓度的体模[真实脂肪分数(FF)为0%、2.5%、5%、10%、15%、20%、25%、30%、40%、50%和100%]。采用3种扫描模式(横断面... 目的 旨在探讨光子计数探测器(PCD)-CT在不同扫描方案下进行脂肪定量的准确性及辐射剂量水平。方法 构建11个不同脂肪浓度的体模[真实脂肪分数(FF)为0%、2.5%、5%、10%、15%、20%、25%、30%、40%、50%和100%]。采用3种扫描模式(横断面扫描、常规螺旋扫描和大螺距螺旋扫描)、4种管电压[90、120、140和锡过滤(Sn)100 kV]和3种水平的影像质量(IQ,20、40和80)的参数组合方式完成36种扫描方案的PCD-CT扫描。记录每种扫描方案重建影像的CT剂量指数(CTDIvol)。以120 kV-IQ80的常规螺旋扫描方案作为参考,将所有方案扫描获得的CT值通过线性回归方程转换为FF值。采用组内相关系数(ICC)和Bland-Altman分析进行准确性和一致性评估,使用单向重复测量方差分析对PCD-CT衍生的FF进行比较分析。结果 PCD-CT在所有扫描方案下获得的FF的一致性和准确性结果优异[ICC>0.9(范围:0.929~0.998,P<0.017)]。通过PCD-CT获得的FF与真实FF值之间的均方根误差(RMSE)范围为1.0%~5.0%,其中120 kV-IQ20大螺距扫描的RMSE值最低(1.0%)。120 kV-IQ20和120kV-IQ80常规螺旋扫描偏倚值最低(平均值分别为1.19%和1.23%)。36种扫描方案的辐射剂量范围为0.09~1.45m Gy。结论 PCD-CT在多种扫描方案下进行脂肪定量均具有较高的准确性。此外,PCD-CT具有在超低辐射剂量下进行准确脂肪定量的潜力。 展开更多
关键词 光子计数探测器 能量积分探测器 体层摄影术 x线计算机 体模 脂肪定量 脂肪分数
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光子计数X射线CT能量成像精度影响因素分析
2
作者 曹家晟 李保磊 《CT理论与应用研究(中英文)》 2025年第2期255-262,共8页
以光子计数探测器为核心的多能谱成像,成为X射线成像领域人们研究的焦点。本文利用Geant 4仿真软件生成射线源能谱,通过设置不同的能量阈值和探测器能量分辨率,获取不同范围的高低能能谱,扫描物体得到高低能投影数据进行双能重建,比较... 以光子计数探测器为核心的多能谱成像,成为X射线成像领域人们研究的焦点。本文利用Geant 4仿真软件生成射线源能谱,通过设置不同的能量阈值和探测器能量分辨率,获取不同范围的高低能能谱,扫描物体得到高低能投影数据进行双能重建,比较各组别下的等效原子序数和电子密度标准差。实验结果表明,探测器能量分辨率越高、高低能能谱区分度越大,成像效果越好,而能量阈值对成像精度的影响最终是通过改变能谱重合度,进而对成像精度造成影响。同时,随着能谱重合度变小、能谱宽度变窄,噪声也会加大,因此需要平衡能谱重合度和噪声的关系,才能达到更好的成像效果。 展开更多
关键词 多能谱成像技术 光子计数探测器 x射线成像 计算机断层成像 双能重建
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综述:光子计数X射线探测器的能量标定方法 被引量：4
3
作者 沈淇 冯初晴 +1 位作者 康克军 邢宇翔 《中国体视学与图像分析》 2015年第1期1-10,共10页
光子计数探测器具有能量分辨能力,在小动物成像、医学成像以及粒子物理等多个研究领域有广泛的应用。光子计数探测器一般工作在光子计数模式,用于测量高于阈值能量的光子数。这种工作模式的探测器常用阈值扫描来测量射线源的能谱,这也... 光子计数探测器具有能量分辨能力,在小动物成像、医学成像以及粒子物理等多个研究领域有广泛的应用。光子计数探测器一般工作在光子计数模式,用于测量高于阈值能量的光子数。这种工作模式的探测器常用阈值扫描来测量射线源的能谱,这也是能量标定实验的第一步。除了光子计数模式,基于Timepix的光子计数探测器还可以工作在TOT模式。探测器在TOT模式下可以直接测量入射粒子的能量,从而更方便地得到测量能谱。本文中,作者讨论了光子计数模式和TOT模式下探测器的能量标定方法,详细分析了使用不同射线源的标定实验,结果表明大部分情况下X射线荧光是更合适的射线源。 展开更多
关键词 光子计数探测器 能量标定 TOT模式 光子计数模式 x射线荧光
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基于X射线连续谱的光子计数探测器能量标定方法
4
作者 李中浩 贠明凯 +6 位作者 姜小盼 张志都 程志威 魏存峰 史戎坚 魏龙 王哲 《CT理论与应用研究（中英文）》 2018年第3期363-372,共10页
随着探测器技术的发展,具有能量分辨能力的光子计数探测器在X射线能谱CT成像中应用越来越广泛。能量与阈值的对应关系对能谱CT成像具有重要意义,受到实验条件的限制,目前的光子计数探测器的能量标定方法有一定的局限性。针对光子计数探... 随着探测器技术的发展,具有能量分辨能力的光子计数探测器在X射线能谱CT成像中应用越来越广泛。能量与阈值的对应关系对能谱CT成像具有重要意义,受到实验条件的限制,目前的光子计数探测器的能量标定方法有一定的局限性。针对光子计数探测器的单像素标定问题,本文提出一种基于X射线光机连续谱的能量标定方法,通过建立和分析X光谱模型,利用光机连续谱中高能端的能量信息,得到阈值与能量之间的关系。实验结果表明该方法操作方便,对探测器单像素标定结果较为准确,对其他类型光子计数探测器的标定具有参考意义。 展开更多
关键词 x射线光机连续谱 光子计数探测器 能量标定
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GMX型同轴高纯锗探测器用于X射线荧光分析之性能评述 被引量：2
5
作者 谢东 严振庄 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1992年第1期35-40,共6页
本文以GMX型为例评述了同轴高纯锗探测器在X射线荧光分析中之应用情况,计算了锗的Kα逃逸所致之逃逸峰的强度。给出了能量分辨和逃逸峰的实验数据,并同Si(Li)探测器比较,提出了锗探测器的应用场合以及选择激发源的注意点。
关键词 x射线 荧光分析 锗 探测器 GMx型
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ZSX Primus Ⅱ型X射线荧光光谱仪流气式正比探测器常见故障处理与维护 被引量：3
6
作者 武永芝 党亮 +1 位作者 刘江斌 祝建国 《分析测试技术与仪器》 CAS 2014年第3期187-189,共3页
总结了日本理学ZSX Primus Ⅱ型X射线荧光光谱仪流气式正比探测器在使用过程中出现的常见故障,介绍了简单实用的排除处理方法.
关键词 ZSx Primus Ⅱ型x射线荧光光谱仪 流气式正比探测器 故障
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宽响应高灵敏度软X射线单光子计数探测器
7
作者 杨名恪 王占山 《光学机械》 CSCD 1991年第1期76-80,共5页
本文阐述了不同类型的软X射线探测器的机理及近期发展,总结了以往的工作,针对当前软X射线研究的迫切需要,提出了用CsI光电阴极做为转换材料、道电子倍增器做为电子倍增元件的宽响应,单光子计数探测器。
关键词 软x射线 计数探测器 灵敏度
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一种聚焦型X射线探测器在轨性能标定方法 被引量：9
8
作者 周庆勇 魏子卿 +6 位作者 姜坤 邓楼楼 刘思伟 姬剑锋 任红飞 王奕迪 马高峰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期72-83,共12页
X射线探测器是X射线天文观测及脉冲星导航的核心器件,受发射振动、高能粒子辐射损伤及元器件老化等影响,X射线探测器空间观测性能会逐渐变化,X射线探测器在轨标定有利于观测天体X射线辐射信息的准确获取及精确建模.研究利用了脉冲星辐... X射线探测器是X射线天文观测及脉冲星导航的核心器件,受发射振动、高能粒子辐射损伤及元器件老化等影响,X射线探测器空间观测性能会逐渐变化,X射线探测器在轨标定有利于观测天体X射线辐射信息的准确获取及精确建模.研究利用了脉冲星辐射能谱标定X射线探测器性能的方法,能较好地消除探测器本底及空间环境噪声的影响,通过处理脉冲星导航试验卫星(XPNAV-1卫星)的Crab脉冲星观测数据,评估了我国首款聚焦型X射线探测器的在轨性能.计算结果表明,XPNAV-1卫星上聚焦型X射线探测器的有效面积在0.6-1.9 keV能段内优于2 cm^2,其中在0.7 keV能量处取得最大值3.06 cm^2,探测效率约10%;有效面积随着探测能量增大而减小,在2—3.5 keV能段内有效面积约为1 cm^2,而大于5 keV能段的有效面积约为0.1 cm^2,且此能段估计精度明显受光子统计误差影响.同时研究了考虑能量响应矩阵的探测器有效面积标定新方法,利用地面性能测试中五个特征能谱处的能量分辨率重构其能量响应矩阵,重新标定了聚焦型X射线探测器有效面积,发现该能量响应矩阵对结果影响较小.最后建议观测某些超新星遗迹监测能量分辨率及能量线性等指标的变化. 展开更多
关键词 脉冲星导航试验卫星 x射线脉冲星 能量响应矩阵 硅漂移型探测器
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面向脉冲星导航的聚焦型X射线探测器测试标定方法研究 被引量：7
9
作者 周庆勇 魏子卿 +10 位作者 姜坤 刘思伟 郑伟 史钰锋 王奕迪 杨彦佶 胡慧君 金东东 宋娟 孙鹏飞 宋昊磊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期21-33,共13页
通过脉冲星辐射信号特征研究和空间观测需求分析,提出了一种面向导航应用的X射线探测器测试方法.首先推导了X射线光子欠探测概率公式,分析了不同星源流量及不同探测器时间分辨率下对光子探测能力的影响.通过数值模拟方法建立了脉冲到达... 通过脉冲星辐射信号特征研究和空间观测需求分析,提出了一种面向导航应用的X射线探测器测试方法.首先推导了X射线光子欠探测概率公式,分析了不同星源流量及不同探测器时间分辨率下对光子探测能力的影响.通过数值模拟方法建立了脉冲到达时间与脉冲轮廓相似度的关系.处理了我国硬X射线调制望远镜的Crab脉冲星观测数据,研究了不同能段脉冲轮廓差异.其次,系统地研究了面向导航应用的X射线探测器测试及处理方法,并利用地面测试系统完成了一款自主研发的聚焦型X射线探测器测试工作.通过数据分析得到,聚焦型探测器本底噪声为3.63×10^-5ph/(cm^2·s^-1),工作能区为0.2~22.7keV,时间分辨率为4.17μs,空间响应约为5′,能量非线性为0.52%,能量分辨率优于200eV@5.7keV,典型探测效率为39.18%@4.51keV.聚焦型X射线探测器在弱脉冲信号及强背景噪声下,均能还原出Crab脉冲星脉冲轮廓,在2 400s内能够探测到辐射流量弱于背景噪声10倍的脉冲信号.结果表明,该款聚焦型探测器性能优秀,能够满足导航脉冲星(如PSR B1509)的空间观测需求,也验证了测试方法的可行性. 展开更多
关键词 x射线光学 脉冲星导航 性能标定 聚焦型探测器 能量分辨率 探测效率 时间分辨率 脉冲到达时间
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穿透型金刚石X射线位置灵敏探测器及其在同步辐射光束线上的应用 被引量：4
10
作者 崔莹 汪启胜 +8 位作者 黄胜 张坤浩 李冰 徐琴 王志军 Michal Pomorski 徐慧超 潘强岩 何建华 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1-8,共8页
X射线位置灵敏探测器是同步辐射光束线上不可缺少的重要部件,由它所提供的光束位置和强度的实时数据是监测光束线运行状态的重要依据。为适应对高亮度同步辐射光束的测量需要,我们成功地研制了一套穿透型金刚石位置灵敏探测器,并在上海... X射线位置灵敏探测器是同步辐射光束线上不可缺少的重要部件,由它所提供的光束位置和强度的实时数据是监测光束线运行状态的重要依据。为适应对高亮度同步辐射光束的测量需要,我们成功地研制了一套穿透型金刚石位置灵敏探测器,并在上海光源生物大分子结构晶体学束线(BL17U1)上对其性能进行了测定。测量数据表明,在整块探测器(2.5 mm×2.5 mm)上均具有极好的线性响应,探测器的信/噪比(S/N)>5×103,位置分辨能力为s=(136±11)nm,光强强度的测量精度和线性度均<0.1%,能满足第三代同步辐射和第四代光源(自由电子激光)束线上对光强、光斑位置及其运动轨迹的监测需求,是束线诊断的重要设备。 展开更多
关键词 穿透型金刚石x射线位置灵敏探测器 亚微米位置分辨
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多晶CVD金刚石型X射线光束诊断探测器研制 被引量：2
11
作者 王炳杰 常广才 +2 位作者 刘鹏 李玉晓 李贞杰 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2018年第6期852-855,共4页
为满足同步辐射X射线实时位置和强度监测需求,基于多晶的CVD金刚石材料,研制了一种四象限型X射线位置探测器。该探测器暗电流为20pA;在同步辐射Top-up注入模式下,光强的测量精度为0.2%;位置分辨能力为1μm,达到同步辐射装置线站上常规... 为满足同步辐射X射线实时位置和强度监测需求,基于多晶的CVD金刚石材料,研制了一种四象限型X射线位置探测器。该探测器暗电流为20pA;在同步辐射Top-up注入模式下,光强的测量精度为0.2%;位置分辨能力为1μm,达到同步辐射装置线站上常规的光束位置和强度实时测量要求。 展开更多
关键词 多晶CVD金刚石 同步辐射 四象限型x射线位置探测器
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基于MCP大面阵X射线探测器共享阳极的研究 被引量：6
12
作者 宋娟 赵宝升 +4 位作者 盛立志 刘哲 代锦飞 刘永安 周雁楠 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期37-42,共6页
针对用于大面阵微通道板探测器的电子学采集系统研制难度大的问题,提出了多个探测单元共享一个微带线接收阳极的解决方案.依据微带线原理,设计了阻抗匹配的双通道共享阳极和四通道共享阳极.按照判定多通道共享阳极可用的基本标准,对这... 针对用于大面阵微通道板探测器的电子学采集系统研制难度大的问题,提出了多个探测单元共享一个微带线接收阳极的解决方案.依据微带线原理,设计了阻抗匹配的双通道共享阳极和四通道共享阳极.按照判定多通道共享阳极可用的基本标准,对这两种共享阳极进行了信号传输特性和收集效率的实验验证.模拟实验显示,多通道共享阳极的信号传输呈现出无衰减、无畸变的状态,实验测试结果与模拟计算结果相吻合;双通道共享阳极计数率之和与四通道共享阳极计数率均近似等于单通道阳极计数率之和,相对误差分别为5.2%、7.4%.四通道共享阳极可以取代单通道阳极和双通道共享阳极,将多通道电子学采集系统的通道数目减少至原来的1/4,降低整个电子学采集系统的体积、重量和功耗. 展开更多
关键词 单光子探测 微通道板探测器 多通道共享阳极 x射线脉冲星导航 计数率
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X射线脉冲星导航探测器性能研究 被引量：9
13
作者 盛立志 赵宝升 +6 位作者 周峰 王朋 宋娟 刘永安 申景诗 胡慧君 马晓飞 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1071-1076,共6页
为研究用于X射线脉冲星导航的探测系统性能,推导了在光子计数模式下探测系统的信噪比和最小可探测功率的关系表达式,并搭建测量信噪比和最小可探测功率的实验装置.测量了系统的最小可探测功率以及在不同光功率、不同累积时间和不同阈值... 为研究用于X射线脉冲星导航的探测系统性能,推导了在光子计数模式下探测系统的信噪比和最小可探测功率的关系表达式,并搭建测量信噪比和最小可探测功率的实验装置.测量了系统的最小可探测功率以及在不同光功率、不同累积时间和不同阈值电压条件下探测系统的信噪比.通过对X射线光子到达时间的测量,构造了X射线脉冲累积轮廓.实验表明:随着光功率和累积时间的增加,累积脉冲轮廓的信噪比提高,累积脉冲轮廓趋于光滑;当阈值电压为-150mV时,信噪比为26.3,累积脉冲轮廓最优;系统的最小可探测功率为3.5×10-16W. 展开更多
关键词 单光子探测 微通道板探测器 最小可探测功率 信噪比 x射线脉冲星导航
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X射线脉冲星导航探测器的微通道板甄选 被引量：6
14
作者 宋娟 赵宝升 +2 位作者 盛立志 刘哲 刘永安 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期402-407,共6页
根据应用于X射线脉冲星导航系统的大面阵X射线探测器对微通道板（MCP）性能的要求,研究了甄选微通道板的方法。确定了甄选微通道板的4个关键参量,分别是增益的均匀性、阻抗匹配、暗计数率、增益系数。针对这4个参量设计了相应的测试实验... 根据应用于X射线脉冲星导航系统的大面阵X射线探测器对微通道板（MCP）性能的要求,研究了甄选微通道板的方法。确定了甄选微通道板的4个关键参量,分别是增益的均匀性、阻抗匹配、暗计数率、增益系数。针对这4个参量设计了相应的测试实验,制定了甄选MCP的流程,并对采用该流程甄选出的MCP进行了幅值和计数率的测试。测试结果显示：采用单通道阳极接收信号时,每一个探测单元的幅值存在的相对误差各不相同,第i个探测单元输出的信号幅值的最大相对误差Δ1i和最小相对误差Δ2i的波动分别为7%-13.5%,3%-6.7%;而采用四通道共享阳极时输出信号的Δ1i为7.8%、Δ2i为3.1%;单通道阳极计数率之和（n=n1＋n2＋n3＋n4）与四通道共享阳极计数率N的相对误差为4.38%,小于预估值10%。上述实验结果表明该甄选方法能够甄选出满足探测器要求的MCP。 展开更多
关键词 单光子探测 x射线探测器 脉冲星导航系统 微通道板(MCP) MCP甄选 脉冲幅值 计数率
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基于相关光子定标光电探测器量子效率的基本模型
15
作者 夏茂鹏 李健军 +1 位作者 高冬阳 郑小兵 《大气与环境光学学报》 CAS 2014年第2期121-130,共10页
相关光子是由强激光泵浦非线性晶体的自发参量下转换效应产生的。从两方面阐述了对探测器量子效率的定标,包括光子计数型探测器和模拟探测器。针对每一方面详细地介绍了目前主流的定标方案,并给出了详细的理论表达式及实验方案。根据理... 相关光子是由强激光泵浦非线性晶体的自发参量下转换效应产生的。从两方面阐述了对探测器量子效率的定标,包括光子计数型探测器和模拟探测器。针对每一方面详细地介绍了目前主流的定标方案,并给出了详细的理论表达式及实验方案。根据理论分析其优点及缺点,并与传统的定标方法进行比较。重点对模拟探测器量子效率的定标在不同方案下的应用范围及表达式进行归纳,总结了探测器定标的最新进展,分析了这些方法的基本思想。提出下一步研究方向及可实现的方法,展望该领域的发展前景。 展开更多
关键词 相关光子 模拟探测器 光子计数型探测器 量子效率 绝对定标
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天文观察用超软X射线探测器的标定
16
作者 赵屹东 崔明启 +6 位作者 朱佩平 黎刚 唐和森 张仁健 谷正海 顾福源 宫一中 《Beijing Synchrotron Radiation Facility》 2001年第2期205-212,共8页
在北京同步辐射装置3WlB光束线上，对天文观测用超软X射线(0.2keV-3．5keV)正比计数管探测器进行了系统地标定．得到了正比计数管的死时间、计数率坪曲线、能量线性、能量分辨、窗材料透过比曲线；借助于已标定过的光电二极管探测器，... 在北京同步辐射装置3WlB光束线上，对天文观测用超软X射线(0.2keV-3．5keV)正比计数管探测器进行了系统地标定．得到了正比计数管的死时间、计数率坪曲线、能量线性、能量分辨、窗材料透过比曲线；借助于已标定过的光电二极管探测器，测量了正比管探到器的能量响应效率，标定不确定度在10％一18％之间．另外，还对正比管系统在卫星上的六道记录和在实验室里的多道记录进行了对比，两种记录方式符合得很好． 展开更多
关键词 超软x射线探测器 天文观测 标定 正比计数管 同步辐射 宇宙γ爆 Γ射线天文学
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光子计数探测器的响应函数标定及校正方法 被引量：2
17
作者 许晓飞 张丽 王森 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第12期196-201,共6页
建立了XCounter Flite X1型光子计数探测器的响应函数模型。利用X射线荧光作为射线源,通过蒙特卡罗方法,模拟了入射能谱与探测器材料中的能量沉积能谱。响应函数包括高斯函数与经验型的修正函数,修正函数由直线段构成,通过最小二乘的方... 建立了XCounter Flite X1型光子计数探测器的响应函数模型。利用X射线荧光作为射线源,通过蒙特卡罗方法,模拟了入射能谱与探测器材料中的能量沉积能谱。响应函数包括高斯函数与经验型的修正函数,修正函数由直线段构成,通过最小二乘的方法来确定其中的参数,探测器像素不一致性的校正包括阈值校正与响应函数的校正。把经过校正的模型结果与实验结果对比并计算平均误差,得到在各能量段下误差都小于2.5%的结果,利用该响应函数进行能谱恢复与材料分解,两者具有比较理想的结果,充分说明了该校正方法的有效性与准确性。 展开更多
关键词 光子计数探测器 响应函数 x射线荧光 蒙特卡罗方法
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X射线与半导体探测器相互作用过程的仿真研究 被引量：1
18
作者 谢利平 何江华 +1 位作者 王良厚 邹士亚 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期849-851,共3页
采用MCNP4B仿真了能量为1-100keV的单能X射线与硅半导体探测器发生相互作用的过程。仿真结果表明,当X射线能量较低时,在探测器的硅半导体上沉积能量较低,随着X射线光子能量升高,沉积能量增大,但是在探测器的整个能量段,沉积能量并非线... 采用MCNP4B仿真了能量为1-100keV的单能X射线与硅半导体探测器发生相互作用的过程。仿真结果表明,当X射线能量较低时,在探测器的硅半导体上沉积能量较低,随着X射线光子能量升高,沉积能量增大,但是在探测器的整个能量段,沉积能量并非线性增加,而是有一定的涨落,经检验,5个探测器在其工作能段范围内探测效率呈正态分布。 展开更多
关键词 x射线光子 MCNP4B 硅半导体探测器 光电效应 康普顿散射
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光子计数探测器CT在骨肌系统疾病中的研究进展 被引量：4
19
作者 孙振业 王植 孟祥虹 《国际医学放射学杂志》 北大核心 2023年第3期313-316,共4页
光子计数探测器(PCD)-CT可以直接进行单光子成像,兼有常规CT检查的功能,具有物质分析准确、扫描剂量低、影像质量高的优势,对减少影像金属伪影、骨肌系统疾病分级等具有重要价值。综述PCD-CT的基本原理,及其在骨关节炎分析、骨肿瘤定量... 光子计数探测器(PCD)-CT可以直接进行单光子成像,兼有常规CT检查的功能,具有物质分析准确、扫描剂量低、影像质量高的优势,对减少影像金属伪影、骨肌系统疾病分级等具有重要价值。综述PCD-CT的基本原理,及其在骨关节炎分析、骨肿瘤定量诊断、儿童骨肌低剂量扫描、骨骼微结构显示及骨关节假体评估中的应用进展。 展开更多
关键词 光子计数探测器 能量积分探测器 体层摄影术 x线计算机 骨肌系统
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用于4H-SiC雪崩光电探测器p型欧姆接触的研究 被引量：3
20
作者 朱会丽 陈厦平 吴正云 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期743-747,共5页
对4H-SiC雪崩光电探测器的Ti/Al/Au p型欧姆接触进行了详细的研究。通过线性传输线模型(LTLM)测得经930℃退火后欧姆接触的最小比接触电阻为5.4×10^(-4)Ωcm^2。分别用扫描电子显微镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(X... 对4H-SiC雪崩光电探测器的Ti/Al/Au p型欧姆接触进行了详细的研究。通过线性传输线模型(LTLM)测得经930℃退火后欧姆接触的最小比接触电阻为5.4×10^(-4)Ωcm^2。分别用扫描电子显微镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)、X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射谱(XRD)对退火前后的表面形貌、金属之间以及金-半接触界面之间相互反应及扩散情况进行测试与分析,发现了影响欧姆接触性能的主要原冈。对采用此欧姆接触制备的4H-SiC雪崩光电探测器进行测试,发现器件的击穿电压约为-55 V,此时其p型电极处的电压降仅为0.82 mV,可以满足4H-SiC雪崩光电探测器在高压下工作的需要。 展开更多
关键词 光电子学 4H—SiC P型欧姆接触 x射线光电子能谱 雪崩光电探测器
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