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题名随机位相菲涅耳透镜阵列激光束匀化
被引量：1
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作者
裴宪梓
梁永浩
王菲
朱效立
谢常青
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机构
长春理工大学光电工程学院
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期1-8,共8页
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基金
国家重点研发计划(Nos.2017YFA0206002
2018YFB1107501)
+2 种基金
吉林省科技攻关计划(No.20150204047GX)
吉林省高校十三五科研规划(No.JJKH20170616KJ)
长春理工大学科技创新基金(No.XJJLG-2017-12)~~
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文摘
为降低干涉带来的影响,将一种随机位相分布引入菲涅耳透镜阵列,对阵列中每一个菲涅耳透镜施加0或π的二值化位相变化,打乱阵列位相的周期性排布,减少微透镜后多光束在匀化面干涉带来的影响.通过数值计算对激光束的匀化过程进行了模拟,设计的菲涅耳透镜口径为0.5 mm,焦距为6mm,阵列数目为20×20,光斑整体均匀度达到90%,光束能量利用率达到96%.利用设计和制备的16台阶随机位相型菲涅耳透镜阵列对1 064nm波长的激光光束进行匀化,均匀度为83%,光束能量利用率为89%.研究结果表明,通过引入随机位相可有效减少干涉带来的影响,提高微透镜阵列对单模高斯光束的匀束效果.
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关键词
激光束均匀化
单模高斯光束
随机位相
菲涅耳透镜阵列
干涉
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Keywords
Laser beam homogenization
Single-mode Gaussian beams
Random phase
Fresnel lens array
Interference
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分类号
O438
[机械工程—光学工程]
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题名漂移量反馈控制式激光准直方法
被引量：13
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作者
赵维谦
谭久彬
马洪文
邹丽敏
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机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期373-377,共5页
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基金
国家自然科学基金 (5 0 0 75 0 2 0 )
哈工大校基金 (HIT 2 0 0 12 6 )资助课题
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文摘
提出一种集光纤准直与光束漂移量反馈控制准直技术于一体的激光光束准直方法 ,它是在单模光纤对激光器出射光束漂移量进行初级准直的基础上 ,进一步对光束的漂移量进行反馈控制 ,进而提高出射光束的方向稳定性。准直系统中利用漂移量分离光路和光电检测系统对光束的平漂量和角漂量进行了分离检测 ,并各自构成相应的光束空间平漂量反馈控制系统和光束空间角漂量反馈控制系统 ,减小了平漂量和角漂量反馈控制中的相互耦合。引入单模光纤使激光器与光束漂移量反馈控制准直系统相隔离 ,减小了激光管热源温度变化等因素对准直系统的影响 ,同时还便于准直系统使用中的安装布置。上述方法的应用 ,提高了准直精度及准直效率。实验表明目前该方法准直精度可达 0 .7× 10 -7rad。
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关键词
物理光学
激光准直
光束漂移
单模光束
激光基准
纳米控制
漂移量反馈控制
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Keywords
physical optics
laser collimation
light beam drift
single\|mode fiber
laser datum
control system with nanometer resolution
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分类号
TH706
[机械工程—精密仪器及机械]
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