基于波长移相干涉的台阶测量技术 被引量：1

1

作者 于瀛洁 孙流星 《测试技术学报》 EI 2005年第2期157-161,共5页

　概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Cárre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分... 　概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Cárre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性. 展开更多

关键词 干涉技术 波长移相 台阶测量 时域处理算法 频域处理算法

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接触式台阶测量仪常见故障的调修 被引量：3

2

作者 韩志国 李锁印 +1 位作者 赵革艳 赵新宇 《电子工业专用设备》 2015年第11期43-46,共4页

介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进... 介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。 展开更多

关键词 接触式台阶测量仪 软故障 探针 测力

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LSI 薄膜台阶测量仪的研制

3

作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期268-273,共6页

本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满... 本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。 展开更多

关键词 台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶

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智能化的微细台阶测量系统

4

作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期389-390,共2页

智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大... 智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、... 展开更多

关键词 微细台阶 智能化 测量系统 测量原理 台阶测量仪 工作台 测量精度 测量软件 半导体生产工艺 触针

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微细台阶测量中工作台的模糊控制

5

作者 王云庆 李庆祥 周兆英 《测控技术》 CSCD 北大核心 1996年第1期30-31,共2页

在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。

关键词 台阶测量 工作台 模糊控制 自动检测系统

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微细台阶测量中的非线性误差及消除

6

作者 王云庆 李庆样 周兆英 《机电工程》 CAS 1996年第1期29-30,共2页

为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表... 为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。 展开更多

关键词 非线性误差 台阶测量仪

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TY—1型台阶测量仪

7

作者 薛实福 李庆祥 《LSI制造与测试》 1996年第6期37-39,42,共4页

关键词 台阶测量仪 集成电路 LSI VLSI

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经济型微机电台阶测量仪的研究 被引量：1

8

作者 李强 吴宇列 李圣怡 《航空精密制造技术》 2005年第3期13-16,56,共5页

针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,对运动平台存在的偏心作用力和振动噪声问题做了分析和研究,提出了有效的解决方案。

关键词 微机电 台阶测量 测量力

原文传递

触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响

9

作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《电子工业专用设备》 1995年第3期20-23,共4页

接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对样本... 接触式台阶测量仪是ＬＳＩ生产工艺中的重要检测仪器，其中，触针是关键部件之一。本文叙述了触针对膜层台阶表面测量的影响，包括：触针的形状、尺寸对表面形貌测量中的水平分辨力的限制；选择合适的触针测量力及针尖形状，实现对样本表面的无损测量。同时，本文推导出相应的公式，为提高触针测量的精度提供了理论依据。 展开更多

关键词 台阶测量 触针 集成电路

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Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究 被引量：8

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作者 郭鑫 施玉书 +4 位作者 皮磊 张树 李适 李东升 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期141-144,共4页

为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测... 为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量。使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm。 展开更多

关键词 计量学 Mirau干涉 微纳台阶高度测量 三维表面形貌测量 白光显微干涉 光学显微镜

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阀套零件周向台阶槽的尺寸测量

11

作者 侯秀娟 《中国新技术新产品》 2022年第1期67-69,共3页

在测量阀套零件周向台阶槽的台阶面距内孔中心距离时,因它的设计基准为孔中心线,被测台阶面与设计基准处于立体空间内且被测台阶面位于阀套壁内,常规测量量具和测量方法无法直接测量。笔者通过设计专用测量工装,巧妙解决了阀套零件台阶... 在测量阀套零件周向台阶槽的台阶面距内孔中心距离时,因它的设计基准为孔中心线,被测台阶面与设计基准处于立体空间内且被测台阶面位于阀套壁内,常规测量量具和测量方法无法直接测量。笔者通过设计专用测量工装,巧妙解决了阀套零件台阶槽的台阶面的测量难题,成功实现了空间尺寸的精确测量,对类似零件测量有一定的参考意义。 展开更多

关键词 阀套零件 周向台阶槽 台阶面测量

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十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验 被引量：1

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作者 于水 白立芬 +1 位作者 李庆祥 王云庆 《实验技术与管理》 CAS 2000年第1期19-21,共3页

台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活... 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。 展开更多

关键词 十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪

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基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

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作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期37-38,46,共3页

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点... 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm . 展开更多

关键词 台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法

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基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统 被引量：2

14

作者 王韵致 谢芳 +2 位作者 陈龙辉 徐海波 李明佳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期146-153,共8页

研究了一种基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统.系统中的光纤激光器包含三个独立的激光谐振腔,每个激光谐振腔都有作为增益介质的掺铒光纤,三个激光谐振腔利用光纤光栅作为反射镜及波长选择元件,光纤激光器能同时发出无模... 研究了一种基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统.系统中的光纤激光器包含三个独立的激光谐振腔,每个激光谐振腔都有作为增益介质的掺铒光纤,三个激光谐振腔利用光纤光栅作为反射镜及波长选择元件,光纤激光器能同时发出无模竞争的频率和功率都稳定的三波长激光.利用三波长激光的自混合干涉,以及干涉信号的相位小数重合方法,实现绝对距离测量.为实现绝对距离测量,三个波长中两相邻波长间距应为相等.实验中,两相邻波长间距约为10nm.系统对公称高度为11mm修正值不大于2.7μm的台阶高度进行测量,测量结果为11.000059mm.对13.000090mm绝对距离重复测量20次的标准差为4.4nm. 展开更多

关键词 光纤传感 多波长激光 光学干涉 自混合干涉 绝对距离测量 台阶测量 掺铒光纤激光器

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十字片簧弹性支承机构的设计

15

作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 于水 薛实福 《机械设计》 CSCD 北大核心 2001年第3期18-19,30,共3页

首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采... 首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。 展开更多

关键词 台阶测量仪 弹性支承 有限元 集成电路 十字片簧

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基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究 被引量：2

16

作者 马森 谢芳 +1 位作者 王韵致 陈亮 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期1749-1753,共5页

提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统。利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长。利用反... 提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统。利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长。利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量。本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1mm,测量分辨率小于1nm。 展开更多

关键词 光纤测量 干涉测量 台阶高度测量 在线测量

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基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统的研究 被引量：7

17

作者 赵可强 谢芳 +2 位作者 马森 王韵致 陈亮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期148-155,共8页

提出一种基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统。由宽带光源发出的光通过光纤迈克耳孙干涉仪获取被测量信息,色散光栅将宽谱干涉光束色散成波长在空间连续分布的光片,由线阵CCD探测。将线阵CCD的各个像元探测到的各个波长干涉信号... 提出一种基于波数分辨的低相干干涉台阶高度测量系统。由宽带光源发出的光通过光纤迈克耳孙干涉仪获取被测量信息,色散光栅将宽谱干涉光束色散成波长在空间连续分布的光片,由线阵CCD探测。将线阵CCD的各个像元探测到的各个波长干涉信号转换成对应的波数干涉信号。对于波数干涉信号,相邻两个干涉信号峰值之间的波数变化量与干涉仪光程差的绝对值呈正比。因此,利用此测量系统可实现对台阶高度等物理量的绝对测量。利用缩短测量系统中光纤迈克耳孙干涉仪的两个干涉臂的长度减小环境干扰对测量系统的影响,获得高测量精度。本测量系统的测量分辨率为6.03 nm。对一个高度为50μm的台阶重复10次测量,测量结果的标准差为6.8 nm。 展开更多

关键词 测量 低相干干涉测量 波数分辨 台阶高度测量 光学色散

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亚微米微位移工作台升降模糊控制系统

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作者 王云庆 李庆祥 周兆英 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期47-50,共4页

对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台... 对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台阶高度测量中，应根据被测样品材料选择适当的测量力，该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的。实验表明：工作台上升时间仅１０ｓ左右，测量力设定误差小于６μＮ。 展开更多

关键词 台阶测量 工作台 模糊控制 大规模集成电路 薄膜

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