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场发射扫描电镜的科学管理与规范操作 被引量:2
1
作者 郭守杰 李知声 法文君 《理化检验(物理分册)》 CAS 2024年第1期20-23,28,共5页
扫描电镜具有分辨率高、信号稳定、操作简便等优点,可观察试样的微观形貌,在材料测试中起着重要的作用。扫描电镜主要由真空系统、电子光学系统、显示系统以及附属设备等组成。随着科技的不断发展,扫描电镜变得越来越普及,多数操作人员... 扫描电镜具有分辨率高、信号稳定、操作简便等优点,可观察试样的微观形貌,在材料测试中起着重要的作用。扫描电镜主要由真空系统、电子光学系统、显示系统以及附属设备等组成。随着科技的不断发展,扫描电镜变得越来越普及,多数操作人员缺乏系统性的培训,操作水平参差不齐,对设备维护方面不够了解。以FEI Nova NanoSEM 450型场发射扫描电镜为例,介绍了该设备的一系列科学管理与规范操作方法,以期为相关操作人员提供参考。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 科学管理 规范操作
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HITACHI SU5000热场发射扫描电镜的使用及参数选择
2
作者 洪雅真 《广州化工》 CAS 2024年第17期119-121,125,共4页
以HITACHI SU5000热场发射扫描电镜为例,以金银核壳纳米棒、ZIF-8、碳酸钙纳米微球和聚苯乙烯微球为研究对象,探讨不同参数对扫描电镜图像质量的影响。结果显示,对于导电性良好的样品,选择较高加速电压搭配适宜束流强度,可得到高分辨率... 以HITACHI SU5000热场发射扫描电镜为例,以金银核壳纳米棒、ZIF-8、碳酸钙纳米微球和聚苯乙烯微球为研究对象,探讨不同参数对扫描电镜图像质量的影响。结果显示,对于导电性良好的样品,选择较高加速电压搭配适宜束流强度,可得到高分辨率的样品形貌。对于半导体样品,选择合适的电压,根据放大倍数来调整束流强度。对于不导电样品,电压和束流过低,聚焦困难;适当提高加速电压,增加电子束的穿透深度,可显著减少荷电现象,图像质量得到改善。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 参数选择 荷电 加速电压
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基于氮气吸附-核磁共振-氩离子抛光场发射扫描电镜研究川西须五段泥质岩储层孔隙结构 被引量:18
3
作者 庞河清 曾焱 +4 位作者 刘成川 黎华继 彭军 严焕榕 陈俊 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期66-74,共9页
微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛... 微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛光及场发射扫描电镜在表征微观孔隙形态与类别时有一定优势,但定量表征孔隙参数时,受图像二值化阈值的影响,表征结果偏差较大,可结合氮气吸附法来定量表征其孔径大小;2核磁共振受岩石骨架影响小,能够更精细反映岩石的物性条件,可定量计算孔隙度与可动流体饱和度,但对样品的孔隙形态反映较差;3综合上述三种方法,在须五段泥质岩中可识别出一定量的纳米级中、大孔,孔径大多介于几十纳米到几百纳米之间,孔隙连通性差,孔隙度主要介于2.3%~7.4%之间,孔隙类型以粒间孔、晶间孔最发育,有机孔隙、微裂缝次之,粒内孔隙最不发育。总体而言,融合了三种技术方法能更精确、更全面地反映泥质岩孔隙结构特征,能得到更完善的储层孔隙结构参数,在定量表征泥质岩孔隙结构中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 泥质岩 孔隙结构 氮气吸附 核磁共振 氩离子抛光及发射扫描电镜
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镀膜材料对场发射扫描电镜图像的影响 被引量:12
4
作者 刘紫微 吴伟 +3 位作者 华佳捷 林初城 孙程 曾毅 《理化检验(物理分册)》 CAS 2015年第2期92-96,共5页
以具有纳米孔道结构的不导电介孔氧化硅SBA-15为研究对象,系统研究了3种常见导电薄膜(金膜、铂膜和铬膜)对扫描电镜图像的影响。结果表明:在同样的镀膜条件下,蒸镀3种导电膜后扫描电镜图像的荷电现象均得到改善,但是镀金膜后无法观察到... 以具有纳米孔道结构的不导电介孔氧化硅SBA-15为研究对象,系统研究了3种常见导电薄膜(金膜、铂膜和铬膜)对扫描电镜图像的影响。结果表明:在同样的镀膜条件下,蒸镀3种导电膜后扫描电镜图像的荷电现象均得到改善,但是镀金膜后无法观察到直径为4nm的孔道,其完全被金颗粒所掩盖;蒸镀铂膜后,孔道形貌基本保持,但孔径显著降低;蒸镀铬膜后孔径和孔壁尺寸均与未镀膜前相差不大。导电薄膜中晶粒大小是决定薄膜对材料显微结构掩盖程度的关键因素,金颗粒大部分直径大于5nm,铂颗粒大部分直径约为2nm,因此蒸镀该两种薄膜均会导致SBA-15介孔材料4nm的孔道不同程度地被掩盖;铬颗粒直径仅为1nm,且主要以非晶状态存在,因此对介孔孔道的掩盖最少。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 镀膜材料 介孔材料 荷电现象
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基于开放共享平台的场发射扫描电镜管理与维护 被引量:18
5
作者 卜娟 屈泽华 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2017年第6期264-266,274,共4页
从规章制度建设、信息化管理、培训流程控制、技术服务、激励措施、预防性维护及保养、故障处理等几个方面总结了基于开放共享平台的场发射扫描电镜的管理措施,介绍了大型贵重仪器的共享管理办法和经验。通过严格的培训过程控制、高水... 从规章制度建设、信息化管理、培训流程控制、技术服务、激励措施、预防性维护及保养、故障处理等几个方面总结了基于开放共享平台的场发射扫描电镜的管理措施,介绍了大型贵重仪器的共享管理办法和经验。通过严格的培训过程控制、高水平的技术服务、有效的维护以及及时的故障处理等提高了仪器的使用效率。 展开更多
关键词 开放共享平台 发射扫描电镜 管理维护
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场发射环境扫描电镜下有机物形貌和成份特征的研究 被引量:3
6
作者 陈莉 徐军 +2 位作者 苏犁 周凤山 张会珍 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期335-335,共1页
关键词 环境扫描电镜 形貌特征 发射 成份 有机物 X射线能谱 电镜分析 胜利油田
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2种方法使用生物活性玻璃脱敏剂对牙本质小管封闭作用的场发射扫描电镜观察 被引量:4
7
作者 马骞 罗瑞 +2 位作者 王婕 王天达 陈亚明 《口腔医学》 CAS 2016年第11期997-1001,共5页
目的使用场发射扫描电镜观察涂抹法和透明压膜托盘法使用生物活性玻璃脱敏剂在短时间内对牙本质小管的封闭效果,为增强生物活性玻璃的脱敏疗效提供新思路。方法制取56颗离体牙的牙本质片,6%柠檬酸脱矿后按处理方法和处理时间不同随机分... 目的使用场发射扫描电镜观察涂抹法和透明压膜托盘法使用生物活性玻璃脱敏剂在短时间内对牙本质小管的封闭效果,为增强生物活性玻璃的脱敏疗效提供新思路。方法制取56颗离体牙的牙本质片,6%柠檬酸脱矿后按处理方法和处理时间不同随机分为7组,涂抹法1 d组(A1组),涂抹法3 d组(A2组),涂抹法7 d组(A3组),压膜法1 d组(B1组),压膜法3 d组(B2组),压膜法7 d组(B3组),空白对照组。通过FESEM观察比较各组牙本质小管封闭效果。结果涂抹法和透明压膜托盘法使用生物活性玻璃脱敏剂后均能很好的封闭牙本质小管,牙本质小管内均可见明显矿化物沉积,A1、A2、A3、B1、B2、B3组牙本质小管的暴露率分别为(6.29±1.18)%、(3.40±0.84)%、(1.23±0.43)%、(5.31±0.97)%、(1.40±0.30)%、(0.36±0.15)%,A2组>B2组,A3组>B3组,差异有统计学意义;空白对照组牙本质小管口开放,周界清晰。结论透明压膜托盘法在短时间内可以增强生物活性玻璃对敏感牙本质小管的封闭效果,与涂抹法相比,封闭效果有提高,差异有统计学意义。 展开更多
关键词 生物活性玻璃 再矿化 透明压膜托盘法 发射扫描电镜
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纳滤膜的场发射扫描电镜、能量色散X射线、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱分析 被引量:7
8
作者 罗敏 王浪 王占生 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期20-24,共5页
利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ... 利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ,平均表面粗糙度为 9 4nm ,波峰高度是纳米级 ;而污染膜面基本表现为无数小葡萄球状的低聚糖类物质组成的块状 ,且污染物层分布很不均匀 ,波动很大 ,平均表面粗糙度为 4 39 7nm ,波峰高度是微米级的 . 展开更多
关键词 纳滤 发射扫描电镜 能量色散X射线分析 原子力显微镜 傅里叶转换红外光谱 膜分离 膜材料
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利用场发射扫描电镜对北京市大气可吸入颗粒物的研究 被引量:8
9
作者 时宗波 邵友义 +1 位作者 贺桃娥 吕森林 《北京工业职业技术学院学报》 2003年第2期31-34,共4页
本文主要利用高分辨率场发射扫描电镜(FESEM)对北京市大气可吸入颗粒物样品进行微区形貌和成分分析,区分出三种不同形态的烟尘集合体:链状、蓬松丛状和密实块状。链状烟尘和蓬松团块状烟尘既可能来自机动车尾气,也可能来自燃煤,而密实... 本文主要利用高分辨率场发射扫描电镜(FESEM)对北京市大气可吸入颗粒物样品进行微区形貌和成分分析,区分出三种不同形态的烟尘集合体:链状、蓬松丛状和密实块状。链状烟尘和蓬松团块状烟尘既可能来自机动车尾气,也可能来自燃煤,而密实块状烟尘可能来自煤的燃烧。通过X射线能谱(EDX)分析,北京大气PM10中主要矿物类型包括硅铝酸盐、石英、石膏、白云石以及部分由两种矿物组成的沙尘等。 展开更多
关键词 发射扫描电镜(FEsem) X射线能谱(EDX) 可吸入颗粒物 北京
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用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响 被引量:3
10
作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 张存 张会珍 《电子显微学报》 CSCD 1995年第6期430-433,共4页
本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时... 本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时,由于金镀层粒度太大,因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜,用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料,在25万倍以下观察时,无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 离子溅射镀膜 高真空蒸发镀膜
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场发射环境扫描电镜上阴极荧光谱仪在锆石研究中的应用 被引量:1
11
作者 陈莉 徐军 苏犁 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期334-334,共1页
关键词 环境扫描电镜 阴极荧光 荧光谱仪 发射 锆石 应用 系统使用 地质意义 年龄测定
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改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望 被引量:11
12
作者 廖乾初 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期709-716,共8页
本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 ... 本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 VA=3 0 k V)。此外 ,在 Cs=0和扫描电子束的半开角 α=5× 10 -2 rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到 0 .178nm(当 VA=3 0 k V)。 展开更多
关键词 等效球像差系数 发射扫描电镜 分辨率
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场发射扫描电镜的开放测试与维护探索 被引量:7
13
作者 张景峰 郭武学 《中国高新技术企业》 2013年第15期29-30,共2页
场发射扫描电镜广泛用于材料科学研究与生产实践,是材料科学研究者的重要工具。文章通过分层次开放测试分针,提高仪器在高校教学、科研中的使用效率;与地方企业的深入合作,获得良好的社会效益和科研成果。同时,结合日常管理工作,探讨了... 场发射扫描电镜广泛用于材料科学研究与生产实践,是材料科学研究者的重要工具。文章通过分层次开放测试分针,提高仪器在高校教学、科研中的使用效率;与地方企业的深入合作,获得良好的社会效益和科研成果。同时,结合日常管理工作,探讨了维持扫描电镜良好运行状态的一些经验和思考。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 开放测试 材料科学
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贝壳的场发射环境扫描电镜形貌观察条件研究 被引量:2
14
作者 桂柳成 赖炳钊 《广州化工》 CAS 2013年第4期72-75,78,共5页
以贝壳为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜,选用二次电子成像,进行SEM图像观察,探讨贝壳镀膜处理、加速电压、束斑、扫描速度对贝壳表面图像质量的影响。研究表明,观察贝壳这种样品,宜进行镀膜处理,选用10~20 kV电压,小束斑,帧... 以贝壳为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜,选用二次电子成像,进行SEM图像观察,探讨贝壳镀膜处理、加速电压、束斑、扫描速度对贝壳表面图像质量的影响。研究表明,观察贝壳这种样品,宜进行镀膜处理,选用10~20 kV电压,小束斑,帧频扫描时间短等条件进行观察。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 贝壳 镀膜 加速电压 束斑 扫描速度
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提高场发射扫描电镜利用率的探索 被引量:2
15
作者 范丽霞 《教育教学论坛》 2020年第21期380-381,共2页
场发射扫描电镜被广泛应用于材料科学研究与生产实践,是材料微观分析不可或缺的重要仪器设备。该文分析总结了目前场发射扫描电镜利用率低下的原因,并结合实际工作经验,分别从操作培训、电镜开放共享、实验技术人员培训以及设备维护四... 场发射扫描电镜被广泛应用于材料科学研究与生产实践,是材料微观分析不可或缺的重要仪器设备。该文分析总结了目前场发射扫描电镜利用率低下的原因,并结合实际工作经验,分别从操作培训、电镜开放共享、实验技术人员培训以及设备维护四个方面阐述了提高电镜利用率的有效措施。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 利用率 开放共享
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氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米组织结构的场发射扫描电镜观察研究
16
作者 徐军 王立铎 陈文雄 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第6期716-721,共6页
将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中... 将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中的纳米粒子,这一方法为氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米结构与层间关系的研究提供了一种实用而有效的手段。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 氮化硅 氮化钛 陶瓷 多层膜
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氩离子抛光-场发射扫描电镜分析方法在识别有机显微组分中的应用 被引量:20
17
作者 高凤琳 王成锡 +5 位作者 宋岩 陈振宏 刘庆新 李卓 姜振学 张欣欣 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期360-367,共8页
氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜... 氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜下特定显微组分的鉴定和观察,并总结出扫描电镜下有机显微组分鉴定的方法和特征。氩离子抛光—场发射扫描电镜下,可通过有机质的外部形态、硬度、亮度、颜色、突起、有机质孔隙发育特征以及裂隙发育特征等综合判断出结构镜质体、无结构镜质体、镜屑体、丝质体、半丝质体、菌类分泌体、惰屑体、油沥青以及焦沥青。 展开更多
关键词 氩离子抛光 发射扫描电镜 有机显微组分
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场发射扫描电镜及PerGeos系统在安页1井龙马溪组页岩有机质孔隙研究中的联合应用 被引量:15
18
作者 白名岗 夏响华 +7 位作者 张聪 孟凡洋 杨玉茹 张春贺 代峰 熊杰 王向华 于伟欣 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期225-234,共10页
安页1井是中国地质调查局在我国南方盆地外围武陵山复杂构造区实施并取得页岩气突破的一口地质调查参数井。本文以安页1井龙马溪组富有机质页岩为研究对象,利用场发射扫描电镜,研究了上扬子地区盆地外围龙马溪组富有机质页岩储集空间类... 安页1井是中国地质调查局在我国南方盆地外围武陵山复杂构造区实施并取得页岩气突破的一口地质调查参数井。本文以安页1井龙马溪组富有机质页岩为研究对象,利用场发射扫描电镜,研究了上扬子地区盆地外围龙马溪组富有机质页岩储集空间类型,并将Per Geos数字岩石处理系统引入有机质孔隙定量分析,定量刻画了有机质微纳米孔隙结构及发育特征。研究认为:有机质孔隙是安页1井龙马溪组富有机质页岩最主要的储集空间,形态上表现为填隙于自生硅质中的有机质发育着均匀海绵状孔隙结构,或与黏土矿物交互生长的有机质发育着气泡状孔隙结构,这两类不同赋存形态的有机质的孔隙均极为发育。通过Per Geos数字岩石系统处理,揭示了两类有机质孔隙孔径发育呈现双众数分布,其中海绵状结构的有机质孔隙孔径众数为5~10 nm,气泡状结构的有机质孔隙孔径众数为51~100 nm,有机质孔隙主要介于中孔~宏孔范畴。安页1井龙马溪组有机质孔隙的大量发育,指示了盆地外围的龙马溪组页岩经历了较强烈的生烃过程并具有较好的储集能力,具备良好的开发潜力。 展开更多
关键词 龙马溪组 页岩 发射扫描电镜 有机质微纳米孔隙 PerGeos数字岩石处理系统
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探针电流对场发射扫描电镜图像的影响 被引量:6
19
作者 邓子华 陈红梅 尹伟 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2018年第8期25-28,共4页
通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小... 通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则。探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小,分辨率增高,景深增加,有利于减弱荷电现象,但是探针电流过小,噪声增大,聚焦困难,图像分辨率反而下降。实验表明,结合样品的特征,灵活地选择探针电流能显著地提高电镜图像质量。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 探针电流 分辨率 景深 荷电现象
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蔡司场发射扫描电镜Sigma 500真空系统故障与排除 被引量:2
20
作者 薛敏 马赛 +1 位作者 魏杰 陈炜晔 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期479-482,共4页
场发射扫描电镜是科研工作中不可或缺的重要工具之一,管理者要及时排查、解除故障,以缩短维修周期、节约维修经费,保障仪器高效有序运行。本文对蔡司Sigma 500真空系统在使用过程中发生的故障进行了分析排查并对解决方法进行了归纳总结... 场发射扫描电镜是科研工作中不可或缺的重要工具之一,管理者要及时排查、解除故障,以缩短维修周期、节约维修经费,保障仪器高效有序运行。本文对蔡司Sigma 500真空系统在使用过程中发生的故障进行了分析排查并对解决方法进行了归纳总结,给同款仪器用户以借鉴。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 真空系统 故障
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