期刊导航
期刊开放获取
唐山市科学技术情报研究..
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
硒化锌衬底表面仿生宽带增透微结构的设计及制作
被引量：
4
1
作者
费亮
崔云
+2 位作者
万冬云
陈鹏
徐姣
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期46-52,共7页
采用时域有限差分法研究了硒化锌基底的抛物线型周期阵列仿生微结构的光学性质,重点分析了微结构阵列的周期、高度、占空比和形状轮廓等对反射率的影响,得到了有较好增透效果的结构参数。根据模拟参数进行两次干涉曝光制备掩模,采用反...
采用时域有限差分法研究了硒化锌基底的抛物线型周期阵列仿生微结构的光学性质,重点分析了微结构阵列的周期、高度、占空比和形状轮廓等对反射率的影响,得到了有较好增透效果的结构参数。根据模拟参数进行两次干涉曝光制备掩模,采用反应离子刻蚀技术制备周期阵列微结构。通过场发射扫描电子显微镜对微结构的表面形貌进行表征,并采用傅里叶变换红外光谱仪在中红外波段分别对双面抛光、单面微结构的硒化锌片进行透过率测试。结果表明:单面微结构样品在2~5μm范围内的整体平均透过率比双面抛光硒化锌基片提高了10%,在2.3μm处的最大透过率为82%。
展开更多
关键词
衍射
增透微结构
时域有限差分法
干涉曝光
原文传递
基于蓝宝石材料的微结构增透性能研究
2
作者
张文妮
曹红超
+4 位作者
孔钒宇
张益彬
汪瑞
晋云霞
邵建达
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第22期63-71,共9页
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微...
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微结构,其对795 nm光的单面透过率达到99.23%。在此基础上,制备了双面增透微结构和一面增透微结构一面增透膜的蓝宝石窗口片,相较于蓝宝石基底,它们对795 nm光的透过率分别提升了12.13%和13.02%。高功率激光作用温升测试结果表明,当激光功率从35 W增加到99.6 W时,裸基板温度增加了5.9℃,但是双面增透样品的温升均为3.8℃,表明双面增透处理可以适当降低温升。同时,光束质量测试结果表明,当高功率激光作用下微结构窗口的温度控制在200℃以内时,双面增透样品的光束质量因子在横向上的变化小于0.05,在纵向上的变化小于0.06,表明该增透窗口对入射光光束质量的影响甚小。
展开更多
关键词
薄膜
增透微结构
干涉曝光
反应离子束刻蚀
原文传递
题名
硒化锌衬底表面仿生宽带增透微结构的设计及制作
被引量：
4
1
作者
费亮
崔云
万冬云
陈鹏
徐姣
机构
上海大学材料科学与工程学院
中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室
中国科学院大学
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期46-52,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61405225)
文摘
采用时域有限差分法研究了硒化锌基底的抛物线型周期阵列仿生微结构的光学性质,重点分析了微结构阵列的周期、高度、占空比和形状轮廓等对反射率的影响,得到了有较好增透效果的结构参数。根据模拟参数进行两次干涉曝光制备掩模,采用反应离子刻蚀技术制备周期阵列微结构。通过场发射扫描电子显微镜对微结构的表面形貌进行表征,并采用傅里叶变换红外光谱仪在中红外波段分别对双面抛光、单面微结构的硒化锌片进行透过率测试。结果表明:单面微结构样品在2~5μm范围内的整体平均透过率比双面抛光硒化锌基片提高了10%,在2.3μm处的最大透过率为82%。
关键词
衍射
增透微结构
时域有限差分法
干涉曝光
Keywords
diffraction
antireflective microstructure
finite difference time-domain
interferometric lithography
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
O485 [理学—固体物理]
原文传递
题名
基于蓝宝石材料的微结构增透性能研究
2
作者
张文妮
曹红超
孔钒宇
张益彬
汪瑞
晋云霞
邵建达
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室
中国科学院大学材料与光电研究中心
中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室
中国科学院超强激光科学卓越创新中心
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第22期63-71,共9页
基金
国家重点研发计划(2020YFA0714500)
国家自然科学基金(61875212,U1831211)
+2 种基金
上海市战略性新兴产业发展专项基金(31011442501217020191D3101001)
中国科学院国际合作项目(181231KYSB20200040)
中国科学院战略性先导科技专项(A类)资助(XDA25020314)。
文摘
针对传统熔石英激光窗口在碱金属蒸气环境下易腐蚀的痛点问题,提出了在蓝宝石材料上制备增透微结构的方法,以实现耐高温、耐腐蚀的高透激光窗口。在理论仿真的基础上,采用干涉曝光与反应离子束刻蚀技术,在蓝宝石基底表面上制备了增透微结构,其对795 nm光的单面透过率达到99.23%。在此基础上,制备了双面增透微结构和一面增透微结构一面增透膜的蓝宝石窗口片,相较于蓝宝石基底,它们对795 nm光的透过率分别提升了12.13%和13.02%。高功率激光作用温升测试结果表明,当激光功率从35 W增加到99.6 W时,裸基板温度增加了5.9℃,但是双面增透样品的温升均为3.8℃,表明双面增透处理可以适当降低温升。同时,光束质量测试结果表明,当高功率激光作用下微结构窗口的温度控制在200℃以内时,双面增透样品的光束质量因子在横向上的变化小于0.05,在纵向上的变化小于0.06,表明该增透窗口对入射光光束质量的影响甚小。
关键词
薄膜
增透微结构
干涉曝光
反应离子束刻蚀
Keywords
thin films
anti-reflection microstructure
interference exposure
reactive ion etching
分类号
O485 [理学—固体物理]
TN305 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硒化锌衬底表面仿生宽带增透微结构的设计及制作
费亮
崔云
万冬云
陈鹏
徐姣
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
原文传递
2
基于蓝宝石材料的微结构增透性能研究
张文妮
曹红超
孔钒宇
张益彬
汪瑞
晋云霞
邵建达
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
