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电离式雾霾颗粒传感器的超声波清灰研究
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作者 张勇 解靓 +3 位作者 李小玉 王春祺 陈麒宇 孙金荣 《微纳电子技术》 2025年第1期73-83,共11页
雾霾检测是环境治理的重要环节,但雾霾检测传感器存在颗粒物附着后不能运行的问题。为解决这一问题,提出了一种基于声凝并原理的超声波清洁技术。常用的机械式除尘法对微米级颗粒去除效果不显著,湿式除尘法会增加设备被腐蚀的风险,静电... 雾霾检测是环境治理的重要环节,但雾霾检测传感器存在颗粒物附着后不能运行的问题。为解决这一问题,提出了一种基于声凝并原理的超声波清洁技术。常用的机械式除尘法对微米级颗粒去除效果不显著,湿式除尘法会增加设备被腐蚀的风险,静电除尘法存在供电电压高、功耗大等缺点。与以上除尘法相比,该技术具有非接触、非损伤等特点,适用于清洁传感器。计算了极板与颗粒物的粘附力和超声波发生器的频率与功率;仿真确定了超声波换能器的声波传导范围、固定背板的结构和放置位置;通过分析超声波在空间的传导状况,优化了超声波的传播频率和声压,确定了声强变化范围。实验结果表明,清灰后传感器的质量减小,且最小电流与清灰前初始电流仅相差1.9%,除尘效率高达98%,优于常用的基于气旋原理的气体流量传感器除尘装置,表明了超声波清灰技术的高效性。 展开更多
关键词 雾霾检测传感器 声凝并原理 波清灰技术 非接触 波换能器
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