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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
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作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 表面波(saw)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
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作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 表面波(saw)滤波器 分层级联 全波仿真
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声表面波梯形谐振滤波器的级间补偿 被引量:1
3
作者 刘久玲 何世堂 梁勇 《应用声学》 CSCD 北大核心 2005年第1期1-4,共4页
梯形SAW滤波器在进行级联后,其通带的低端会出现下陷,使得级联后的通带特性变坏。本文从阻抗匹配的角度分析了通带低端出现下陷的原因,并采用了在级间加谐振器进行补偿的改进方法,最后给出了理论模拟及实验结果。
关键词 通带 级联 saw滤波器 表面波 谐振器 阻抗匹配 理论模拟 低端 补偿
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声表面波陷波器与梯形结构相结合的滤波器
4
作者 林智群 任文辉 +1 位作者 刘久玲 何世堂 《应用声学》 CSCD 北大核心 2006年第6期376-379,共4页
用单端对SAW谐振器取代LC低通滤波器中的电容可构成宽通带陷波器。它具有频率选择性好,通带插损低,对陷波频点抑制较高的优点。将这种陷波器与梯形滤波器结合,能实现一种在通带具有低插损,而在特定频段达到高抑制的滤波器,从而可用于双... 用单端对SAW谐振器取代LC低通滤波器中的电容可构成宽通带陷波器。它具有频率选择性好,通带插损低,对陷波频点抑制较高的优点。将这种陷波器与梯形滤波器结合,能实现一种在通带具有低插损,而在特定频段达到高抑制的滤波器,从而可用于双工器中。本文首先分析了这种组合结构的构成原理及实现方法;然后进行理论模拟,并进行了实验验证。 展开更多
关键词 表面波 滤波器 陷波器 梯形滤波器
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声表面波梯形谐振滤波器级联结构的研究
5
作者 李秀梅 李红浪 +1 位作者 何世堂 汪承灏 《应用声学》 CSCD 北大核心 2003年第4期1-5,共5页
本文对声表面波梯形谐振滤波器4级级联的5种不同级联结构进行了理论分析,计算出了其频响特性曲线。对5种不同结构的特性进行了比较,得出了不同结构在带宽、矩形系数、带外抑制等方面的特性,以期对以后实际器件的设计提供理论根据。
关键词 表面波梯形谐振滤波器 4级级联结构 频响特性曲线 带宽 矩形系数 带外抑制 设计
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基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真 被引量:3
6
作者 郑泽渔 杜雪松 +2 位作者 董加和 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期165-168,共4页
针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器... 针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器,色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器,实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42°Y-X LiTaO_(3)常规SAW滤波器的优化设计与研制,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 表面波(saw)滤波器 全波仿真 分层级联 遗传算法
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声表面波低插损滤波器研究进展 被引量:2
7
作者 何世堂 许钊庚 《声学技术》 CSCD 1999年第A11期5-8,共4页
关键词 表面波 saw器件 滤波器 换能器
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国际电工技术委员会(IEC)标准——声表面波(SAW)滤波器
8
作者 黄显淑 《压电与声光》 CAS 1987年第4期96-99,共4页
1)本标准介绍由IEC技术委员会制订的关于一些技术问题的正式决定或协定,其中有些决定或协定对各国标准委员会都有一定的利益,这些决定或协定尽量准确地表达了国际上处理这些技术问题的一致意见.2)这些决定或协定具有国际通用的推荐形式... 1)本标准介绍由IEC技术委员会制订的关于一些技术问题的正式决定或协定,其中有些决定或协定对各国标准委员会都有一定的利益,这些决定或协定尽量准确地表达了国际上处理这些技术问题的一致意见.2)这些决定或协定具有国际通用的推荐形式,因而可为各国标准委员会所接受.3)为促进国际统一,IEC希望,在正常条件允许的情况下,各国标准委员会都采用IEC推荐的各国标准文本.当然。 展开更多
关键词 saw 滤波器 电子设备 表面波 IEC
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声表面波滤波器的匹配电路设计 被引量:2
9
作者 陈小兵 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第6期428-429,433,共3页
介绍了通过测试仪器采集的声表面波(SAW)滤波器的Sij(i,j=1,2)参数来优化匹配电路的方法。首先将采集的Sij(i,j=1,2)参数转换为SAW滤波器Yij(i,j=1,2)参数,然后建立新的S12(或S21)参数与匹配电路的依赖关系,通过优化匹配电路元件值,而... 介绍了通过测试仪器采集的声表面波(SAW)滤波器的Sij(i,j=1,2)参数来优化匹配电路的方法。首先将采集的Sij(i,j=1,2)参数转换为SAW滤波器Yij(i,j=1,2)参数,然后建立新的S12(或S21)参数与匹配电路的依赖关系,通过优化匹配电路元件值,而使滤波器的插入损耗和通带波动满足目标值,该方法的主要优点是考虑整个通带特性,而不是考虑通带内的某一点(如中心频率)。 展开更多
关键词 表面波 滤波器 匹配电路设计 saw 通带特性
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通信用声表面波滤波器 被引量:3
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作者 季来运 李树凤 《电子产品世界》 1999年第1期67-68,共2页
通信用声表面波滤波器天津光电通信技术有限公司季来运,李树凤1.引言声表面波(SurfaceAcoustic Wave简写为SAW)器件最早应用于军用系统中,随着现代通信技术的发展,声表面波器件得到了越来越广泛的应用,... 通信用声表面波滤波器天津光电通信技术有限公司季来运,李树凤1.引言声表面波(SurfaceAcoustic Wave简写为SAW)器件最早应用于军用系统中,随着现代通信技术的发展,声表面波器件得到了越来越广泛的应用,在各种电子系统设备中发挥着越来越大... 展开更多
关键词 表面波滤波器 saw 表面波器件
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用于ETC系统的扇形声表面波滤波器设计
11
作者 吴燕 蒋道军 +3 位作者 施建锋 张显洪 杜雪松 张铃 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第6期809-812,共4页
该文设计了一款用于电子不停车收费系统(ETC)的声表面波(SAW)滤波器。该款滤波器采用3-1-3分节的电容加权结构和电极宽度控制(EWC)的换能器单元结构,基片材料为128°Y-X铌酸锂。通过对滤波器外围匹配电感、换能器反射指结构和膜厚... 该文设计了一款用于电子不停车收费系统(ETC)的声表面波(SAW)滤波器。该款滤波器采用3-1-3分节的电容加权结构和电极宽度控制(EWC)的换能器单元结构,基片材料为128°Y-X铌酸锂。通过对滤波器外围匹配电感、换能器反射指结构和膜厚的优化,实现了滤波器小插入损耗和高阻带抑制,制作滤波器的中心频率为40 MHz,插入损耗为-7.5 dB。该文突破常规设计方法,采用在扇形结构中换能器全抽指加权SAW滤波器的设计手段,使器件最终满足ETC项目使用要求。 展开更多
关键词 表面波滤波器(saw) 扇形结构 电容加权 抽指加权
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一种声表面波滤波器的设计与研究 被引量:1
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作者 沈献念 汪东芳 《中国新通信》 2012年第23期77-78,共2页
一、引言 弹性波包括许多,其中声表面波(SAW,Surface A—coustic Wave)是重要的一种。在压电基本材料表面可以产生SAW,并沿其表面传播,振幅随着深入基片材料的深度增加而迅速减少。现如今,SAW滤波器逐渐趋于向小型片式化、高频... 一、引言 弹性波包括许多,其中声表面波(SAW,Surface A—coustic Wave)是重要的一种。在压电基本材料表面可以产生SAW,并沿其表面传播,振幅随着深入基片材料的深度增加而迅速减少。现如今,SAW滤波器逐渐趋于向小型片式化、高频宽带化及降低插入损耗发展。移动通信和其它便携式产品对滤波器提出了小型片式化的基本要求。高速发展的移动通信市场,不断刺激科研人员对SAW器件的深入研究。 展开更多
关键词 表面波滤波器 saw滤波器 移动通信市场 SURFACE 设计 便携式产品 saw器件 材料表面
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超宽带声表面波滤波器的设计 被引量:5
13
作者 陈景 韩韬 +2 位作者 吉小军 唐供宾 张巧珍 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期353-355,共3页
该文精确模拟了基于弛豫铁电单晶的声表面波(SAW)梯形滤波器的性能。首先介绍了由谐振器构成的梯形SAW滤波器的工作原理,利用QUCS软件建立了七阶梯形滤波器的仿真模型。结果表明,该单晶能实现高达620 MHz的超宽带SAW滤波器(中心频率1GH... 该文精确模拟了基于弛豫铁电单晶的声表面波(SAW)梯形滤波器的性能。首先介绍了由谐振器构成的梯形SAW滤波器的工作原理,利用QUCS软件建立了七阶梯形滤波器的仿真模型。结果表明,该单晶能实现高达620 MHz的超宽带SAW滤波器(中心频率1GHz),比传统压电材料的滤波器带宽高3倍;通过优化各支路谐振器的静态电容及传统梯型滤波器的结构,牺牲了一定的带宽,但获得了较高的带外抑制和过渡带的陡峭度;讨论了不同品质因数对滤波器带内插损的影响。 展开更多
关键词 超宽带滤波器 表面波(saw) 弛豫铁电单晶 机电耦合系数 品质因数
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LiTaO_3单晶彩电声表面波滤波器的频响特性分析
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作者 任绪才 苟永明 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1989年第2期8-12,共5页
本文介绍了在研制和生产38MHz LiTaO_3彩电声表面波滤波器(SAWF)中出现的频响特性的几种现象:(1)无波形;(2)低端波形不好;(3)高端过渡带锯齿形。实验分析表明,这些现象是由于基片材料的质量和不正确的加工造成的。
关键词 表面波 滤波器 saw 彩电 LITAO3
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声表面波滤波器的应用及发展 被引量:1
15
作者 黄刚 《电子元器件应用》 2002年第3期24-25,共2页
扼要介绍声表面波(SAW)滤波器的特点、主要用途及发展趋势。
关键词 saw 压电基片材料 发展趋势 表面波 滤波器 应用
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基于COM参数提取技术设计SAW梯形滤波器 被引量:4
16
作者 聂广琳 程红亚 汤劲松 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第1期3-5,共3页
与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从... 与耦合谐振滤波器(CRF)相比,声表面波(SAW)梯形滤波器具有插入损耗小,功率容量大和芯片尺寸小的优点。该文从COM参数提取出发,结合COM模型和P矩阵级联的方法,设计出一个中心频率约为350MHz,插入损耗仅有1.5 dB的三极SAW梯形滤波器。从样品的测试结果发现,这种基于COM模型的阻抗元滤波器(IEF)的设计思路是正确可行的。 展开更多
关键词 COM模型 P矩阵 表面波(saw)梯形滤波器 阻抗元滤波器
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滤波器组中的声表面波滤波器
17
作者 李志云 《火控雷达技术》 1996年第3期50-55,共6页
从滤波器组的特性及功用出发,论述了用于其中的声表面波滤波器在设计中的一般和特殊考虑,以实例为依据进一步阐明了理论观点,实现了理论和实验的高度一致性,提出了把低损耗声表面波滤波器应用于滤波器组中,可以降低其插入损耗.
关键词 滤波器 表面波 梯形网络
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陶瓷封装SAW滤波器除金工艺研究
18
作者 唐盘良 李亚飞 +3 位作者 黄莹 张钧翀 冷俊林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期695-699,共5页
针对陶瓷封装声表面波(SAW)滤波器焊盘除金问题,提出了载板搪锡工艺的解决方案。通过制作外扩焊盘的搪锡载板进行滤波器批量贴装,在加热台上进行回流以溶解焊盘镀金层,取下上锡器件后用真空吸锡枪吸去焊盘表面焊锡,即可达到除金目的。... 针对陶瓷封装声表面波(SAW)滤波器焊盘除金问题,提出了载板搪锡工艺的解决方案。通过制作外扩焊盘的搪锡载板进行滤波器批量贴装,在加热台上进行回流以溶解焊盘镀金层,取下上锡器件后用真空吸锡枪吸去焊盘表面焊锡,即可达到除金目的。详细介绍了搪锡载板的焊盘设计,利用红外测温仪对操作过程进行监控,对除金后的器件进行焊盘表面、焊点界面分析以及环境试验验证。试验表明,焊盘表面镀金层被完全去除,除金后的器件具有较高的可靠性。 展开更多
关键词 陶瓷封装 表面波(saw)滤波器 搪锡 除金 可靠性
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低插损窄带TCSAW滤波器的设计与研制
19
作者 黄亮 周亚男 +2 位作者 王志超 何朝峰 朱卫俊 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期300-305,共6页
为了减小窄带滤波器的插入损耗,在梯形拓扑的基础上引入并联电容,提出了一种并联电容型梯形拓扑。利用并联电容大幅度改变反谐振点频率的特点,以牺牲较小插入损耗的代价来缩小带宽。通过谐振器设计与进化算法寻优,成功研制出一款基于SiO... 为了减小窄带滤波器的插入损耗,在梯形拓扑的基础上引入并联电容,提出了一种并联电容型梯形拓扑。利用并联电容大幅度改变反谐振点频率的特点,以牺牲较小插入损耗的代价来缩小带宽。通过谐振器设计与进化算法寻优,成功研制出一款基于SiO_(2)/Cu/127°YX-LiNbO3结构的低插损窄带温补型声表面波(TCSAW)滤波器。实验结果表明,滤波器的中心频率为1514 MHz,相对带宽为0.46%,带内插入损耗仅1.45 dB,过渡带20 MHz带外抑制滚降到24 dB,远带带外抑制大于30 dB,WiFi频段抑制高达48 dB,频率温度系数TCF为-20×10^(-6)/℃,器件尺寸为1.1 mm×0.9 mm。 展开更多
关键词 温补型表面波滤波器 梯形拓扑 并联电容 窄带 低插损
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离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
20
作者 时鹏程 吴兵 +4 位作者 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期169-175,共7页
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻... 随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。 展开更多
关键词 表面波(saw)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构
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